[发明专利]一种检测固晶一体化多头贴片机

权利要求书

1.一种检测固晶一体化多头贴片机，其特征在于，所述贴片机包括：多个晶圆盘子系统、固晶子系统、多个带摆臂的固晶焊头；

所述带摆臂的固晶焊头设置为从所述晶圆盘子系统中取出晶片，并将所述晶片移动到所述固晶子系统上；

所述固晶子系统固晶至少两种由不同的所述带摆臂的固晶焊头移动的晶片。

2.根据权利要求1所述的检测固晶一体化多头贴片机，其特征在于，所述晶圆盘子系统包含：晶圆盘子系统XY工作台、晶圆盘、顶针机构、晶圆盘子系统图像视觉系统和晶圆盘子系统控制器；

所述晶圆盘子系统图像视觉系统用于检测所述晶圆盘中晶片的质量；

所述晶圆盘子系统控制器用于根据所述晶圆盘子系统图像视觉系统的信息控制所述晶圆盘子系统XY工作台将晶片移动到所述顶针机构的正上方；

所述顶针机构用于顶起晶片。

3.根据权利要求2所述的检测固晶一体化多头贴片机，其特征在于，所述带摆臂的固晶焊头包括：旋转电机、Z轴微动电机、摆臂、吸嘴、真空吸管和伺服控制系统；

所述旋转电机用于驱动所述摆臂转动；

所述Z轴微动电机用于驱动所述摆臂上下微动；

所述真空吸管与所述吸嘴连接，所述吸嘴用于吸起被顶起的晶片；

所述伺服控制系统用于控制所述旋转电机、所述Z轴微动电机和所述吸嘴。

4.根据权利要求3所述的检测固晶一体化多头贴片机，其特征在于，所述固晶子系统包括：固晶子系统XY工作台、固晶子系统图像视觉系统和固晶子系统控制器；

所述固晶子系统图像视觉系统用于检测贴片前贴片基板的质量、贴片过程中所述晶片与所述贴片基板的位置关系和贴片完成后所述贴片基板模块的质量，并在当检测到贴片基板质量不满足要求时，对质量不满足要求的所述贴片基板进行标记；

所述固晶子系统控制器根据所述固晶子系统图像视觉系统的信息控制所述固晶子系统XY工作台。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的检测固晶一体化多头贴片机，其特征在于，所述晶圆盘子系统的数量为两个、所述固晶子系统的数量为一个，所述带摆臂的固晶焊头的数量为两个，所述两个所述带摆臂的固晶焊头间的相位角相差180度。