[发明专利]介面金属共化物的覆盖率检测方法

权利要求书

1.一种介面金属共化物的覆盖率检测方法，其特征在于，所述介面金属共化物的覆盖率检测方法包括以下步骤：

在氮气环境下对引线键合后的芯片进行烘烤；

在烘烤完成后对引线键合后的芯片进行冷却；

在冷却完成后，将引线键合后的芯片放入发烟硝酸和发烟硫酸的混合试剂中浸泡，浸泡温度为20℃～30℃，其中，所述引线键合后的芯片中包括银制引线和铝制焊盘，所述混合试剂包括下述体积百分比的组分：发烟硝酸20%～50%，发烟硫酸50%～80%；

在所述银制引线去除后，取出所述芯片；

检测所述铝制焊盘上介面金属共化物的覆盖率；

其中，所述芯片在所述混合试剂中的浸泡时长为8min～12min；

烘烤温度为150℃～225℃，烘烤时长为1h～24h。

2.如权利要求1所述的介面金属共化物的覆盖率检测方法，其特征在于，所述芯片在所述混合试剂中的浸泡时长为10min，浸泡温度为25℃，所述混合试剂包括下述体积百分比的组分：发烟硝酸25%，发烟硫酸75%。

3.如权利要求1所述的介面金属共化物的覆盖率检测方法，其特征在于，所述将引线键合后的芯片放入发烟硝酸和发烟硫酸的混合试剂中浸泡的步骤包括：

将所述芯片中附有银制引线的平面朝上放入所述混合试剂中。

4.如权利要求1所述的介面金属共化物的覆盖率检测方法，其特征在于，所述检测所述铝制焊盘上介面金属共化物的覆盖率的步骤之前，还包括：

对去除所述银制引线的所述芯片进行去离子水冲洗和超声波洗涤；

对洗涤后的所述芯片进行干燥处理。

5.如权利要求4所述的介面金属共化物的覆盖率检测方法，其特征在于，所述超声波洗涤的试剂为工业丙酮，超声波洗涤的时长为0.5min～1.5min。

6.如权利要求4所述的介面金属共化物的覆盖率检测方法，其特征在于，所述对洗涤后的所述芯片进行干燥处理步骤包括：

通过氮气吹干洗涤后的所述芯片，所述干燥的时长为1min～3min。

7.如权利要求1所述的介面金属共化物的覆盖率检测方法，其特征在于，所述检测所述铝制焊盘上介面金属共化物的覆盖率的步骤包括：

通过金相显微镜获取所述铝制焊盘上介面金属共化物的图像，并根据所述图像获取所述覆盖率。