[发明专利]静电卡盘单元在审
| 申请号： | 201910461585.X | 申请日： | 2019-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN110690156A | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 高晙赫;金义圭;宋珉澈;孔炳翼;文在晳;闵秀玹;李丞赈;洪承柱 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L51/56 |
| 代理公司： | 11204 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王达佐;刘铮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 静电卡盘 静电力 布线 配置 | ||
1.静电卡盘单元，包括∶
静电卡盘主体，包括第一布线部分和第二布线部分，所述第一布线部分和所述第二布线部分各自包括多条布线，所述多条布线配置成产生静电力以通过所述静电力在基板与掩模之间产生吸引力，
其中，所述第一布线部分配置成产生比所述第二布线部分更弱的静电力。
2.根据权利要求1所述的静电卡盘单元，其中，所述第二布线部分中的布线之间的间隔小于所述第一布线部分中的布线之间的间隔。
3.根据权利要求1所述的静电卡盘单元，其中，所述第二布线部分中的布线中的每条的宽度大于所述第一布线部分中的布线中的每条的宽度。
4.根据权利要求1所述的静电卡盘单元，其中，所述第二布线部分中的布线中的每条的厚度大于所述第一布线部分中的布线中的每条的厚度。
5.根据权利要求1所述的静电卡盘单元，还包括：多个按压凸起，位于所述静电卡盘主体的、与所述基板和所述掩模面对的表面上。
6.根据权利要求5所述的静电卡盘单元，其中，所述多个按压凸起位于与所述第二布线部分对应的位置处。
7.根据权利要求5所述的静电卡盘单元，
其中，所述多个按压凸起位于与所述第一布线部分对应的位置处和与所述第二布线部分对应的位置处，以及
其中，所述按压凸起中位于与所述第二布线部分对应的所述位置处的按压凸起比所述按压凸起中位于与所述第一布线部分对应的所述位置处的按压凸起更密集地分布。
8.根据权利要求1所述的静电卡盘单元，其中，所述静电卡盘主体还包括冷却器。
9.根据权利要求1所述的静电卡盘单元，还包括：磁体，所述磁体用于产生磁力以吸引所述掩模。
10.根据权利要求1所述的静电卡盘单元，
其中，所述掩模包括单元格，所述单元格中分布有多个图案孔，并且在所述单元格的端部部分中形成有台阶差部分，
其中，所述第二布线部分定位成与所述台阶差部分对应。
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