[发明专利]静电卡盘单元

说明书

提供了静电卡盘单元。静电卡盘单元包括配置成产生相对弱的静电力的第一布线部分和配置成产生相对强的静电力的第二布线部分。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2018年7月4日在韩国知识产权局提交的第10-2018-0077892号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的公开内容通过引用以其整体并入本文。

技术领域

一个或多个实施方式涉及用于产生沉积源的蒸汽和用于通过掩模在基板上形成薄膜的薄膜沉积装置，并且还涉及包括改进的静电卡盘单元的薄膜沉积装置，其中，所述静电卡盘单元用于使掩模和基板彼此紧密接触以及用于支撑掩模和基板。

背景技术

通常，有机发光显示设备通过根据分别注入到阳极和阴极中的空穴和电子在发射层中的重新组合而发射光来产生图像。有机发光显示设备具有这样的堆叠结构，在所述堆叠结构中，发射层插入阳极与阴极之间。然而，由于利用上述结构难以获得高效的光发射，因此选择性地向发射层添加电子注入层、电子传输层、空穴传输层和空穴注入层作为两个电极之间(即，阳极与阴极之间)的中间层。

有机发光显示设备的电极和中间层可通过多种方法形成。沉积方法是所述多种方法中的一种。当通过使用沉积方法制造有机发光显示设备时，具有与要形成的薄膜图案对应的图案孔的掩模在基板上对准，并且薄膜的原材料通过掩模的图案孔沉积在基板上，从而形成具有所需图案的薄膜。

在这种情况下，静电卡盘单元用于使掩模与基板彼此紧密接触，并且牢固地支撑掩模和基板。换言之，静电卡盘单元定位成与掩模相对且以基板位于其间，并且利用静电力拉动基板和掩模，使得在执行沉积时掩模与基板彼此牢固地粘附。

发明内容

由于掩模的周边中的台阶差，单元格的端部部分处发生排斥力而非吸引力，其中单元格是掩模中形成图案孔的区域。因此，基板与掩模之间的粘附性相对降低。在这种情况下，基板与掩模之间形成间隙，并且可能无法在所需位置处精确地执行沉积。因此，以这种方式制造的产品可能有缺陷的可能性高。

一个或多个实施方式包括静电卡盘单元以及包括具有静电卡盘单元的薄膜沉积装置，其中，静电卡盘单元改善单元格的端部部分处的粘附性。

另外的方面将部分地在以下描述中阐述，并且将部分地通过描述而显而易见，或者可通过对所呈现的实施方式的实践而习得。

根据一个或多个实施方式，静电卡盘单元包括静电卡盘主体，静电卡盘主体包括第一布线部分和第二布线部分，第一布线部分和第二布线部分各自包括配置成产生静电力以通过静电力在基板与掩模之间产生吸引力的多条布线，其中，第一布线部分配置成产生比第二布线部分更弱的静电力。

第二布线部分中的布线之间的间隔可小于第一布线部分中的布线之间的间隔。

第二布线部分中的布线中的每条的宽度可大于第一布线部分中的布线中的每条的宽度。

第二布线部分中的布线中的每条的厚度可大于第一布线部分中的布线中的每条的厚度。

静电卡盘单元还可包括位于静电卡盘主体的与基板和掩模面对的表面上的多个按压凸起。

多个按压凸起可位于与第二布线部分对应的位置处。

多个按压凸起可位于与第一布线部分对应的位置处及位于与第二布线部分对应的位置处，并且按压凸起中位于与第二布线部分对应的位置处的按压凸起可比按压凸起中位于与第一布线部分对应的位置处的按压凸起更密集地分布。

静电卡盘主体还可包括冷却器。

静电卡盘单元还可包括磁体，磁体用于产生磁力以吸引掩模。

掩模可包括单元格，单元格中分布有多个图案孔并且在单元格的端部部分中形成有台阶差部分，其中，第二布线部分定位成与台阶差部分对应。