[发明专利]减压干燥装置及减压干燥方法

权利要求书

1.一种减压干燥装置，通过减压使在具有第一主面及第二主面的基板的所述第一主面上存在的处理液干燥，其中，

所述减压干燥装置具有：

框体，具有能够容纳所述基板的容纳空间，并且具有面对所述容纳空间的第一面；

凹部，设置于所述第一面；

排气口，设置于所述凹部的深度方向的底面；

抽吸机构，经由所述排气口抽吸所述容纳空间的气体；

第一构件，配置在所述容纳空间中的在所述深度方向上与所述排气口重叠的位置；

第二构件，配置在特定位置，该特定位置既是所述容纳空间中的在所述深度方向上与所述第一构件的端部及所述凹部的内缘部隔开间隔的位置，又是在所述深度方向上与所述端部及所述内缘部重叠的位置；

基板保持部，在所述容纳空间中的相对于所述第一构件及所述第二构件位于与所述排气口相反一侧的位置保持所述基板，

所述基板保持部包括支撑所述基板的所述第二主面的多个销，

所述减压干燥装置还具有移动驱动部，所述移动驱动部通过使所述多个销在所述深度方向上移动，使所述基板在第一基板位置与第二基板位置之间移动，所述第二基板位置比所述第一基板位置更靠所述排气口，

在从所述抽吸机构经由所述排气口开始抽吸所述容纳空间的气体至经过了第一规定时间之后且所述抽吸机构停止所述抽吸之前，所述移动驱动部使所述基板从所述第一基板位置向所述第二基板位置移动。

2.根据权利要求1所述的减压干燥装置，其中，

所述多个销包括：

多个第一销，在第一方向上排列；

多个第二销，在与所述第一方向正交的第二方向上与所述多个第一销隔开间隔地在所述第一方向上排列，

所述第二构件配置在所述多个第一销与所述多个第二销之间。

3.根据权利要求1或2所述的减压干燥装置，其中，

所述第一构件设置在所述第二构件与所述排气口之间。

4.根据权利要求3所述的减压干燥装置，其中，

所述第一构件的至少一部分位于所述凹部内。

5.根据权利要求4所述的减压干燥装置，其中，

所述第一构件全部位于所述凹部内。

6.根据权利要求5所述的减压干燥装置，其中，

所述端部与所述内缘部位于同一平面上。

7.根据权利要求1或2所述的减压干燥装置，其中，

所述基板保持部将所述基板保持为所述第一主面在铅垂方向上向上的水平姿势，

所述第一构件、所述第二构件以及所述排气口位于被所述基板保持部保持的所述基板的所述第二主面侧。