[发明专利]用于护膜的粘合剂、用于光掩模的护膜及其制造方法

说明书

提供一种用于护膜的粘合剂、用于光掩模的护膜和制造该护膜的方法。所述粘合剂包括：酚化合物，所述酚化合物具有至少两个羟基；聚合物，具有羟基或胺基；以及水。

于2018年6月26日在韩国知识产权局(KIPO)提交的且名称为“Adhesive forPellicle,Pellicle for Photo Mask and Method for Manufacturing the Same”(用于护膜的粘合剂、用于光掩模的护膜及其制造方法)的第10-2018-0073625号韩国专利申请通过引用全部包含于此。

技术领域

实施例涉及一种用于护膜的粘合剂、用于光掩模的护膜以及制造该护膜的方法。

背景技术

为了制造诸如半导体装置的电子装置，可以使用光刻工艺。光掩模和用于保护光掩模的护膜(pellicle)可以用于执行光刻工艺。

发明内容

实施例涉及一种用于护膜的粘合剂，所述粘合剂包括：酚化合物，所述酚化合物具有至少两个羟基；聚合物，具有羟基或胺基；以及水。

实施例还涉及一种用于保护光掩模的护膜，所述护膜包括：护膜膜，所述护膜膜为透明的；框，支撑护膜膜；以及膜粘合剂层，将护膜膜与框结合。膜粘合剂层可以包括由根据实施例的用于护膜的粘合剂形成的交联结构。

实施例还涉及一种制造用于光掩模的护膜的方法，所述方法包括：在框的表面上提供根据实施例的用于护膜的粘合剂以形成涂层；使护膜膜与涂层接触；以及使涂层干燥以形成包括交联结构的膜粘合剂层。

附图说明

通过参照附图详细地描述示例性实施例，特征对于本领域技术人员将变得明显，在附图中：

图1是示出根据示例实施例的护膜的剖视图。

图2是示出根据示例实施例的制造护膜的方法的剖视图。

图3是示出根据示例实施例的护膜的剖视图。

具体实施方式

在下文中将参照附图更充分地描述各种示例实施例。然而，实施例可以以不同的形式实施，并且不限于这里示出和阐述的示例实施例。

用于护膜的粘合剂

在第一示例实施例中，用于护膜的粘合剂可以包括具有至少两个羟基的酚化合物、具有羟基的聚合物和水。

例如，粘合剂可以包括具有至少两个羟基的酚化合物、聚乙烯醇和水。

例如，酚化合物可以包括没食子酸、葡糖棓苷、二没食子酰葡萄糖、三没食子酰葡萄糖、四没食子酰葡萄糖、间三没食子酸、间双没食子酸、单宁酸、鞣花酸等。它们可以各自单独使用或以其组合使用。

在示例实施例中，酚化合物可以包括单宁酸。单宁酸可以从自然界获得，并且具有相对大的分子尺寸并包括多个羟基。因此，单宁酸可以容易地形成氢键和吸引或缠结。

单宁酸由化学式1表示：

化学式1

酚化合物和聚乙烯醇可以分别包括多个羟基，从而形成多个氢键。因此，粘合剂可以通过酚化合物和聚乙烯醇的吸引或缠结而具有大的粘合力。

在示例实施例中，聚乙烯醇可以具有约8,000或更大的重均分子量，这可以提供期望水平的粘合力，同时避免粘度的过度增大。例如，聚乙烯醇的分子量可以为约8,000至约70,000。聚乙烯醇可以是例如完全水合的，或者可以是部分包含乙酸乙烯酯的重复单元的共聚物。