[发明专利]一种去胶机中空主轴

权利要求书

1.一种去胶机中空主轴，其特征在于：包括晶圆(1)、第一密封圈(2)、真空盘(3)、轴芯(4)、轴套(5)、真空环固定座(6)和轴套座(7)；所述轴套座(7)固定安装在所述真空环固定座(6)上端；所述轴套(5)与所述轴套座(7)固定安装；所述轴芯(4)可转动的设置在所述轴套(5)内；所述轴芯(4)上端插入到所述真空盘(3)内并与所述真空盘(3)密封连接；所述轴芯(4)下端与驱动装置连接；所述第一密封圈(2)固定安装在所述真空盘(3)的上端部，所述晶圆(1)设置在所述第一密封圈(2)上；所述轴芯(4)中心设置有上下贯穿的第一通孔(8)，所述第一通孔(8)下端与外部的真空吸附泵连接；所述真空盘(3)中心设置有上下贯穿的第二通孔(9)，所述第一通孔(8)上端与所述第二通孔(9)连通。

2.根据权利要求1所述的去胶机中空主轴，其特征在于：所述真空环固定座(6)上还设置有第一真空密封固定圈(10)、第二密封真空固定圈(11)和第二密封圈(12)，所述第二密封真空固定圈(11)固定的安装在所述真空环固定座(6)内，所述第一真空密封固定圈(10)固定的安装在所述第二密封真空固定圈(11)上端，所述第二密封圈(12)设置在所述第一真空密封固定圈(10)内；所述轴芯(4)的下端深入到所述第一真空密封固定圈(10)内并与所述第二密封圈(12)配合；所述第二密封真空固定圈(11)一侧设置有与外部的真空吸附泵连接的端口(13)。

3.根据权利要求1所述的去胶机中空主轴，其特征在于：所述驱动装置包括驱动电机(14)、电机座(15)、第一皮带轮(16)、皮带(17)和第二皮带轮(18)；所述电机座(15)上端与所述轴套座(7)固定安装，下端与所述驱动电机(14)固定安装；所述第一皮带轮(16)设置在所述驱动电机(14)的输出轴上，所述第二皮带轮(18)设置在所述轴芯(4)的下端，所述皮带(17)一端与所述第一皮带轮(16)连接，另一端与所述第二皮带轮(18)连接。

4.根据权利要求1所述的去胶机中空主轴，其特征在于：所述去胶机中空主轴还包括轴承上端盖(19)、第一轴承(20)、第二轴承(21)、轴承内隔圈(22)、第三轴承(23)、第四轴承(24)、锁紧隔圈(25)和锁紧螺母(26)；所述轴承上端盖(19)固定安装在所述轴套(5)的上端；所述第一轴承(20)、第二轴承(21)、轴承内隔圈(22)、第三轴承(23)、第四轴承(24)、锁紧隔圈(25)及锁紧螺母(26)依次相互贴合设置在所述轴套(5)内，所述锁紧螺母(26)与所述轴芯(4)旋合固定将所述第一轴承(20)、第二轴承(21)、轴承内隔圈(22)、第三轴承(23)、第四轴承(24)及锁紧隔圈(25)完全固定住。

5.根据权利要求1至4任一项所述的去胶机中空主轴，其特征在于：所述第一密封圈(2)呈喇叭形开口设置。