[发明专利]一种掺杂石英玻璃蒸镀材料的制备方法

权利要求书

1.一种掺杂石英玻璃蒸镀材料的制备方法，其特征在于，步骤包括：

(1)准备配料：将原料SiO₂和Al₂O₃按重量比(1-X):X配料混合，其中X＝1～40wt％；将混合料放入行星球磨机，同时加入直径两毫米氧化锆研磨球和纯净水，在行星球磨机中水为混合介质对配料进行湿法球磨工艺，料球比为10:1～20:1，球磨时间为5～10h；

(2)浆料喷雾造粒：将步骤(1)球磨后制成的浆料放入喷雾造粒机，制备出球形粉；

(3)压片成型：将步骤(2)制成的复合粉体，在压片机上压制成型，压片压力控制在100～200MPa，制备成片状坯体；

(4)烧结体制备：将步骤(3)制成的片状坯体放入烧结炉中，升温速率为2～10℃/min，升温至500℃～600℃保温2～6h，然后升温至1300℃～1600℃保温5～8h，然后以5～10℃/min的降到室温，获得硅铝烧结体；

(5)粉碎造粒：将步骤(4)制成的硅铝烧结体，用高速粉碎机粉碎成陶瓷造粒粉；

(6)熔制成坨：将步骤(5)制成的陶瓷造粒粉放入石英玻璃连熔炉中，在氮气气氛保护下，熔制石英坨体；

(7)退火处理：将步骤(6)制成的石英坨体迅速移入退火炉中，温度保持在1100～1300℃保温，之后降温到室温；

(8)粉碎成颗粒：将步骤(7)制成的石英坨使用粉碎机粉碎成1～3mm的石英颗粒，然后用球磨机去除颗粒棱角；

(9)清洗包装：将步骤(8)制成的颗粒料，放入超声波清洗机中清洗处理，然后烘干，包装。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中球形粉的直径为80～120μm。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(5)中陶瓷造粒粉的粒径为80～150目。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(6)中熔制温度为1800～2100℃。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(6)中熔制时间为3～6h。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(7)中保温时间为10～16h，降温速率为6～10℃/min。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中X＝1～10wt％。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中原料SiO₂纯度在99.9％以上，Al₂O₃纯度在99.9％以上。

9.一种掺杂石英玻璃蒸镀材料，其特征在于，根据权利要求1～8中任一项所述的制备方法制备得到。

10.一种根据权利要求9所述的掺杂石英玻璃蒸镀材料在光学器件中的应用。