[发明专利]合成石英玻璃基板的制造方法

权利要求书

1.一种合成石英玻璃基板的制造方法，包括以下步骤：

将板状的间隔件配置成与合成石英玻璃基板的外周侧面接触，

在板材从所述基板表面凸出的状态下，将所述板材配置成与所述间隔件的外周侧面接触，并且

对所述基板表面进行喷砂，

其中，所述间隔件由在宽度方向上可伸缩的弹性高分子化合物或非织造布制成，且其中，所述弹性高分子化合物选自硅橡胶、聚氨酯橡胶、氯丁橡胶和异戊二烯橡胶中。

2.权利要求1所述的合成石英玻璃基板的制造方法，其中，所述间隔件与待加工的合成石英玻璃基板的厚度一样高，或者高于所述基板表面。

3.权利要求2所述的合成石英玻璃基板的制造方法，其中，所述间隔件比所述基板表面高10mm以下。

4.权利要求1所述的合成石英玻璃基板的制造方法，其中，所述间隔件的宽度为5mm至15mm。

5.权利要求1所述的合成石英玻璃基板的制造方法，其中，待加工的合成石英玻璃基板在其表面的周边部分具有倒角面，并且将间隔件配置成除了与所述基板的外周侧面接触之外，还与所述倒角面接触。