[发明专利]合成石英玻璃基板的制造方法

说明书

本发明提供一种合成石英玻璃基板的制造方法，该方法包括将间隔件配置成与合成石英玻璃基板的外周侧面接触，在板材从基板表面凸出的状态下，将所述板材配置成与所述间隔件的外周侧面接触，并且对所述基板表面进行喷砂。

相关申请的交叉引用

本非临时申请根据35U.S.C.§119(a)要求2018年6月5日在日本提交的专利申请No.2018-107892的优先权，其全部内容通过引用并入本文。

技术领域

本发明涉及一种合成石英玻璃基板的制造方法。

背景技术

在涉及大尺寸平板显示器的领域中，越来越多的掩模变得具有增大的面积。在这样的领域中，当制造作为原料供应的大尺寸合成石英玻璃基板时，非常重要的是在将合成石英玻璃块切割为具有特定尺寸的片的基板切割过程中，以及通过抛光等将所述片精加工为具有高平整度的合成石英玻璃基板的精加工过程中减少原材料的损失和加工时间。

当通过喷砂对合成石英玻璃基板进行加工时，作为喷砂的加工特性，容易去除基板表面与倒角面之间的脊部。在通过喷砂而去除的量大的情况下，可能产生脊部被大量加工和去除的现象。因此，所得到的基板的每一侧上的倒角的宽度可能不相同，或者即使在同一侧，倒角的宽度也可能部分地增加。在后续工序中的抛光之后，有时会保留倒角宽度的这种变化。可能引起实际问题，使得所得产品超出标准，并且在具有倒角面的脊部被向内切割太多的最坏情况下，发生真空泄漏并且在曝光时不能进行抽吸。

为了解决这样的问题，作为在喷砂过程中防止基板的具有倒角面的脊部局部磨耗的方法，专利文献1提出了一种通过用具有特定高度的板材围绕基板来抑制气流影响的方法。

引文列表

专利文献1：JP-A 2004-306219

发明内容

在喷砂中，通过改变合成石英玻璃基板上的每个位置处的气压和喷嘴的滞留时间，在基板上的每个位置处调节加工量。如果即使在相同的加工条件下，加工量也随基板上的位置而变化，则基板的平整度变差，并且后续工序中的加工时间延长。例如，在专利文献1的方法中，当存在基板的尺度变化时，如果在板材与基板的侧面之间形成间隙，则不能完全防止气流的影响。其结果，空气和磨粒蔓延到间隙中来，从而基板的侧面部分可能被磨耗，或者可能产生侧面附近的加工量的变化。

另一方面，如果使板材与基板彼此紧密接触从而不形成间隙，则由于接触可能在基板的侧面产生划痕。为了去除划痕，后续工序中的加工时间可能延长。对于复杂的加工条件，例如，在加工过程中逐步改变喷砂的气压，气流的影响也可能得不到抑制。

本发明的一个目的是提供一种通过喷砂加工制造合成石英玻璃基板的方法，其中防止了基板表面与倒角面之间的脊部的加工量的变化以及基板的侧面部分的磨耗，并且防止了倒角形状和侧面形状的变化。

发明人已经发现，在通过利用喷砂来加工合成石英玻璃基板表面，特别是已经倒角的基板表面时，将间隔件配置成与基板的外周侧面接触，并且在板材从基板表面凸出的状态下，将板材配置成与间隔件的外周侧面接触，由此可防止在基板的侧面与板材之间产生间隙，并且可有效地抑制气流的影响。因此，可抑制基板表面与倒角面之间的脊部的加工量的变化，并且不会因板材而在基板的侧面产生划痕，从而可防止基板的侧面部分的磨耗，并且可抑制倒角形状和侧面形状的变化。

一方面，本发明提供一种合成石英玻璃基板的制造方法，包括以下步骤：

将间隔件配置成与合成石英玻璃基板的外周侧面接触，

在板材从该基板表面凸出的状态下，将板材配置成与间隔件的外周侧面接触，并且

对该基板表面进行喷砂。

优选地，间隔件与待加工的合成石英玻璃基板的厚度一样高或者高于基板表面。