[发明专利]法拉第杯组件、离子注入装置及其使用方法

权利要求书

1.一种法拉第杯组件，其特征在于，包括：

基座，所述基座具有一安装面，所述安装面设有安装槽，所述安装槽的底面设有至少一个安装孔；

法拉第杯，呈圆环状，且设于所述安装槽的底面，所述法拉第杯设有沿周向延伸的圆环形的杯腔，所述杯腔具有朝向所述安装槽顶部的开放端，所述杯腔底部设有多个沿周向均匀分布的固定孔，每个所述安装孔与一个所述固定孔正对；

保护环，设于所述安装面且遮蔽所述安装槽，并与所述法拉第杯同轴设置，所述保护环在所述开放端的投影覆盖所述杯腔，所述保护环设有多个周向均匀分布的圆弧形的狭缝，所述狭缝与所述杯腔连通，所述狭缝和所述固定孔满足以下条件：

其中，n为所述狭缝的数量，c为所述狭缝所处圆周的周长，L为所述狭缝的弧长，m为所述固定孔的数量；

连接件，可拆卸地连接于所述安装孔，且穿过与所述安装孔正对的固定孔。

2.根据权利要求1所述的法拉第杯组件，其特征在于，所述狭缝和所述固定孔还满足以下条件：

m＝2n。

3.根据权利要求1所述的法拉第杯组件，其特征在于，所述连接件具有外螺纹，且与对应的所述安装孔螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的法拉第杯组件，其特征在于，所述法拉第杯组件还包括：

多个接头，设于所述杯腔的底部，且沿周向分布，相邻两个所述接头的圆心角与相邻两所述固定孔的圆心角相同。

5.根据权利要求1所述的法拉第杯组件，其特征在于，所述狭缝的数量为四个，所述固定孔的数量为八个。

6.根据权利要求1-5任一项所述的法拉第杯组件，其特征在于，所述法拉第杯组件还包括：

测距器件，设于所述保护环靠近所述法拉第杯的表面，且位于所述杯腔内，所述测距器件位于相邻两所述狭缝之间，用于检测所述测距器件与所述杯腔底部的距离；

处理器件，与所述测距器件连接，用于在所述测距器件与所述杯腔底部的距离大于阈值时，输出提醒信号。

7.根据权利要求6所述的法拉第杯组件，其特征在于，所述法拉第杯组件还包括：

报警器件，与所述处理器件连接，用于在接收到所述提醒信号时，发出警报。

8.根据权利要求1-5任一项所述的法拉第杯组件，其特征在于，所述法拉第杯组件还包括：

至少一个遮蔽件，可拆卸地设于所述保护环远离所述法拉第杯的表面，用于遮蔽至少一个所述狭缝。

9.根据权利要求8所述的法拉第杯组件，其特征在于，所述遮蔽件的材料包括铝、硅、碳化硅中至少一种。

10.一种离子注入装置，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的法拉第杯组件。

11.一种离子注入装置的使用方法，所述离子注入装置为权利要求10所述离子注入装置，其特征在于，所述使用方法包括：

检测所述保护环与所述杯腔的底部的距离；

在所述保护环与所述杯腔的距离大于阈值时，将所述连接件从所述安装孔拆卸；

旋转所述法拉第杯，旋转角度为相邻两所述固定孔的中心的夹角整数倍；

将所述连接件重新连接于所述安装孔。