[发明专利]透镜总成在审
| 申请号： | 201910489790.7 | 申请日： | 2019-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN110596850A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 杨岳霖;廖启宏 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 72003 隆天知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李琛;黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;TW |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 透镜 辐射光束 微影 动态透镜 固定透镜 区域传输 生命周期 透镜总成 微影工艺 传统的 可用 调换 传输 | ||
【权利要求书】：
1.一种透镜总成，包括：
一或多个透镜单元，配置以耦接至一微影工具或在该微影工具中，该透镜单元包括：
一光学透镜；以及
一对准致动器，连接至该光学透镜，其中该对准致动器可操作以在一透镜平面内移动该光学透镜，其中该透镜平面穿过该光学透镜的一原点，且该透镜平面垂直于该光学透镜的一光轴。
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