[发明专利]透镜总成

说明书

本公开涉及一种透镜总成。本公开的实施例涉及在微影工具中使用的动态地控制的透镜。动态透镜的多个区域可用来传输用于微影工艺的辐射光束。通过允许多个区域传输辐射光束，动态地控制的透镜相较于传统的固定透镜可具有延长的生命周期。动态地控制的透镜可以较低的频率更换或调换，因此，改善微影工具的效率并降低生产成本。

技术领域

本公开涉及一种透镜总成，特别涉及一种微影工具用的透镜总成。

背景技术

在半导体制造中，微影工具是通过辐射光束选择性地对基板上的光阻层进行曝光，用以将图案施加至基板上。光学透镜是用在微影装置中，以导引来自辐射源的辐射光束至正在被处理的基板。在微影工具中的光学透镜由优良品质的材料所制成，且因为在操作期间所受到的污染而需要定期更换。

发明内容

本公开一些实施例提供透镜总成，包括一或多个透镜单元。透镜单元配置以耦接至微影工具或在微影工具中。透镜单元包括光学透镜以及连接至光学透镜的对准致动器。对准致动器可操作以在透镜平面内移动光学透镜，透镜平面穿过光学透镜的原点，且透镜平面垂直于光学透镜的光轴。

本公开一些实施例提供一种控制透镜的方法。控制透镜的方法包括将光学透镜上的第一区域对准入射辐射光束，其中第一区域的中心与光学透镜的原点间隔一段距离。控制透镜的方法还包括将入射辐射光束传送经过光学透镜上的第一区域，以施行微影工艺。控制透镜的方法还包括将光学透镜上的第二区域对准入射辐射光束，其中第二区域不同于第一区域。

本公开一些实施例提供一种微影装置。微影装置包括辐射源、微影工具以及动态透镜总成。动态透镜总成定位于在辐射源及微影工具中的基板台之间的光学路径上。动态透镜总成包括一或多个透镜单元。透镜单元的每一者包括光学透镜以及耦接至光学透镜的对准致动器。对准致动器可移动以将光学透镜上的多个区域的一者对准光学路径。

附图说明

以下的实施方式配合附图能最好地理解本公开的各方面。应注意的是，根据本产业的一般作业，图示并未必按照比例绘制。事实上，可能任意的放大或缩小元件的尺寸，以做清楚的说明

图1为根据一些实施例的微影工具的示意图。

图2A为根据一些实施例的动态透镜总成的示意图。

图2B为根据一些实施例的动态透镜及第一光束区域与在微影工具中的光学路径对准的示意平面图。

图2C为根据一些实施例的动态透镜将第二光束区域对准光学路径的示意平面图。

图2D为根据一些实施例的动态透镜及复数个光束区域的示意平面图。

图3A为根据一些实施例的动态透镜总成的示意图。

图3B为根据一些实施例的处于非倾斜位置的动态透镜的示意图。

图3C为根据一些实施例的处于倾斜位置的动态透镜的示意图。

图3D为根据一些实施例的表示了倾斜致动器的透镜壳体的示意平面图。

图4A为根据一些实施例的动态透镜总成的示意图。

图4B为根据一些实施例的具有平移致动器的动态透镜的示意平面图。

图4C为根据一些实施例的动态透镜及复数个光束区域的示意平面图。

图5A为根据一些实施例的动态透镜总成的示意图。

图5B为根据一些实施例的具有倾斜及平移致动器的动态透镜的示意平面图。

图6为根据一些实施例的施行微影工艺的方法的流程图。

附图标记说明：

100 微影工具