[发明专利]一种晶圆监控片的管理方法和系统

权利要求书

1.一种晶圆监控片的管理方法，其特征在于，包括步骤：

根据预设规则检测晶圆监控片是否合格，若所述晶圆监控片合格，对所述晶圆监控片进行刻码并将其存放至合格片储存仓；若所述晶圆监控片不合格，将其存放至报废片储存仓；

通过识别晶圆监控片上的刻码对晶圆监控片进行使用，并上传相关信息至数据处理中心；

数据处理中心获取不同的上传数据，对所述上传数据进行分析处理，生成库存量数据，所述库存量数据包括：在线库存量和在库库存量。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆监控片的管理方法，其特征在于，

所述“根据预设规则检测晶圆监控片是否合格”，还包括步骤：

对晶圆监控片进行表面处理；

对表面处理后的晶圆监控片进行颗粒度、边缘缺角和平整度检测；

根据预设好的允收规则对晶圆监控片进行允收等级划分。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆监控片的管理方法，其特征在于，还包括步骤：

记录晶圆监控片自刻码后发生在晶圆监控片上的事件，并上传事件的相关数据至数据处理中心；

所述事件的相关数据包括：晶圆监控片基本信息和晶圆监控片生产记录。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆监控片的管理方法，其特征在于，还包括步骤：

对循环使用的晶圆监控片进行回收检测，判断所述晶圆监控片是否符合循环使用的标准，若所述晶圆监控片符合循环使用的标准，则对所述晶圆监控片继续使用，并上传对应数据至数据处理中心；

若所述晶圆监控片不符合循环使用的标准，则对所述晶圆监控片进行报废处理，并上传报废处理的相关数据至数据处理中心。

5.一种晶圆监控片的管理系统，其特征在于，包括：传送轨道、传送手臂、检测模块、刻码模块、合格片储存仓和报废片储存仓；

所述传送手臂设置于传送轨道上，所述传送手臂用于：传送晶圆监控片至不同区域位置；

所述检测模块用于：根据预设规则检测晶圆监控片是否合格；

所述刻码模块用于：若所述晶圆监控片合格，对所述晶圆监控片进行刻码；

所述合格片储存仓用于：储存合格的晶圆监控片；

所述报废片储存仓用于：储存不合格的晶圆监控片；

还包括：控片代码识别模组和数据处理中心；

所述控片代码识别模组用于：通过识别晶圆监控片上的刻码对晶圆监控片进行使用，并上传相关信息至数据处理中心；

所述数据处理中心用于：获取不同的上传数据，对所述上传数据进行分析处理，生成库存量数据，所述库存量数据包括：在线库存量和在库库存量。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆监控片的管理系统，其特征在于，

所述检测模块包括：表面处理模组、颗粒度检测模组、平整度检测模组和允收规则模块；

各模组均设置有晶圆监控片进出端；

所述表面处理模组用于：对晶圆监控片进行表面处理；

所述颗粒度检测模组用于：对表面处理后的晶圆监控片进行颗粒度和边缘缺角检测；

所述平整度检测模组用于：对颗粒度和边缘缺角检测的晶圆监控片进行平整度检测；

所述允收规则模块用于：根据预设好的允收规则对晶圆监控片进行允收等级划分。

7.根据权利要求5所述的一种晶圆监控片的管理系统，其特征在于，还包括：生产记录模组和数据处理中心；

所述生产记录模组用于：记录晶圆监控片自刻码后发生在晶圆监控片上的事件，并上传事件的相关数据至数据处理中心；所述事件的相关数据包括：晶圆监控片基本信息和晶圆监控片生产记录。

8.根据权利要求5所述的一种晶圆监控片的管理系统，其特征在于，还包括：回收检测模组；

所述回收检测模组用于：对循环使用的晶圆监控片进行回收检测，判断所述晶圆监控片是否符合循环使用的标准，若所述晶圆监控片符合循环使用的标准，则对所述晶圆监控片继续使用，并上传对应数据至数据处理中心；若所述晶圆监控片不符合循环使用的标准，则对所述晶圆监控片进行报废处理，并上传报废处理的相关数据至数据处理中心。