[发明专利]一种晶圆监控片的管理方法和系统

说明书

本发明涉及监控片管理技术领域，特别涉及一种晶圆监控片的管理方法和系统。所述一种晶圆监控片的管理方法，包括步骤：根据预设规则检测晶圆监控片是否合格，若所述晶圆监控片合格，对所述晶圆监控片进行刻码并将其存放至合格片储存仓；若所述晶圆监控片不合格，将其存放至报废片储存仓。整个过程是一个自动化的程序流程，过程中无需任何人工参与，不仅使得效率大大提高，且避免了人工检测过程中可能存在的人为失误等问题。

技术领域

本发明涉及监控片管理技术领域，特别涉及一种晶圆监控片的管理方法和系统。

背景技术

晶圆监控片是一种代替产品实现某个制程数据量测及监控的方法。现有技术中，监控片的现有管理手段多为人工操作、肉眼识别、人工统计及管控，这种管理方式不仅效率低下且容易造成监控片的盘点遗漏、监控失准、晶圆污染、晶圆报废等风险。

发明内容

为此，需要提供一种晶圆监控片的管理方法，用以解决现有技术中人工管理晶圆监控片效率低下且容易出错管理不当等问题。具体技术方案如下：

一种晶圆监控片的管理方法，包括步骤：根据预设规则检测晶圆监控片是否合格，若所述晶圆监控片合格，对所述晶圆监控片进行刻码并将其存放至合格片储存仓；若所述晶圆监控片不合格，将其存放至报废片储存仓。

进一步的，所述“根据预设规则检测晶圆监控片是否合格”，还包括步骤：对晶圆监控片进行表面处理；对表面处理后的晶圆监控片进行颗粒度、边缘缺角和平整度检测；根据预设好的允收规则对晶圆监控片进行允收等级划分。

进一步的，还包括步骤：记录晶圆监控片自刻码后发生在晶圆监控片上的事件，并上传事件的相关数据至数据处理中心；所述事件的相关数据包括：晶圆监控片基本信息和晶圆监控片生产记录。

进一步的，还包括步骤：通过识别晶圆监控片上的刻码对晶圆监控片进行使用，并上传相关信息至数据处理中心；数据处理中心获取不同的上传数据，对所述上传数据进行分析处理，生成库存量数据，所述库存量数据包括：在线库存量和在库库存量。

进一步的，还包括步骤：对循环使用的晶圆监控片进行回收检测，判断所述晶圆监控片是否符合循环使用的标准，若所述晶圆监控片符合循环使用的标准，则对所述晶圆监控片继续使用，并上传对应数据至数据处理中心；若所述晶圆监控片不符合循环使用的标准，则对所述晶圆监控片进行报废处理，并上传报废处理的相关数据至数据处理中心。

为解决上述技术问题，还提供了一种晶圆监控片的管理系统，具体技术方案如下：

一种晶圆监控片的管理系统，包括：传送轨道、传送手臂、检测模块、刻码模块、合格片储存仓和报废片储存仓；所述传送手臂设置于传送轨道上，所述传送手臂用于：传送晶圆监控片至不同区域位置；所述检测模块用于：根据预设规则检测晶圆监控片是否合格；所述刻码模块用于：若所述晶圆监控片合格，对所述晶圆监控片进行刻码；所述合格片储存仓用于：储存合格的晶圆监控片；所述报废片储存仓用于：储存不合格的晶圆监控片。

进一步的，所述检测模块包括：表面处理模组、颗粒度检测模组、平整度检测模组和允收规则模块；各模组均设置有晶圆监控片进出端；所述表面处理模组用于：对晶圆监控片进行表面处理；所述颗粒度检测模组用于：对表面处理后的晶圆监控片进行颗粒度和边缘缺角检测；所述平整度检测模组用于：对颗粒度和边缘缺角检测的晶圆监控片进行平整度检测；所述允收规则模块用于：根据预设好的允收规则对晶圆监控片进行允收等级划分。

进一步的，还包括：生产记录模组和数据处理中心；所述生产记录模组用于：记录晶圆监控片自刻码后发生在晶圆监控片上的事件，并上传事件的相关数据至数据处理中心；所述事件的相关数据包括：晶圆监控片基本信息和晶圆监控片生产记录。