[发明专利]一种用于柔性微纳器件结构加工的设备在审
申请号: | 201910499077.0 | 申请日: | 2019-06-11 |
公开(公告)号: | CN110202729A | 公开(公告)日: | 2019-09-06 |
发明(设计)人: | 李德钊;李龙 | 申请(专利权)人: | 浙江工业大学 |
主分类号: | B29C41/20 | 分类号: | B29C41/20;B29C41/04 |
代理公司: | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人: | 杨舟涛 |
地址: | 310014 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 成型结构 柔性材料 下层 成型腔体 上层 结构加工 离心装置 微纳器件 圆形凹槽 注入通道 通槽 填充 平面中心位置 离心电机 密闭箱体 温度可控 硬质玻璃 外空间 底面 顶面 制备 加工 配合 相通 | ||
1.一种用于柔性微纳器件结构加工的设备,其特征在于:
包括成型腔体装置和离心装置;
所述的成型腔体装置包括下层成型结构(1)和上层成型结构(2);下层成型结构(1)和上层成型结构(2)均为硬质玻璃板材;
所述的下层成型结构(1)包括下层本体(1-1),下层本体(1-1)的平面中心位置开有圆形凹槽(1-2),下层本体(1-1)平面的每个转角附近均匀开有下层螺孔(1-3);
所述的上层成型结构(2)包括上层本体(2-1),上层本体(2-1)的平面上开有通槽(2-2);通槽(2-2)的一端位于上层本体(2-1)的一侧,形成开放端,另一端位于位于上层本体(2-1)平面内,为封闭端;上层本体(2-1)平面的每个转角附近均匀开有上层螺孔(2-3);
所述的下层本体(1-1)和上层本体(2-1)的平面形状和投影面积相同;下层螺孔(1-3)和上层螺孔(2-3)数量相同、位置对应;
所述的下层成型结构(1)和上层成型结构(2)通过螺钉固定连接;下层成型结构(1)的圆形凹槽(1-2)与上层本体(2-1)的底面配合,形成柔性材料填充腔(3);上层成型结构(2)的通槽(2-2)与下层本体(1-1)的顶面配合,形成柔性材料注入通道(4);柔性材料填充腔(3)通过柔性材料注入通道(4)与成型腔体装置外空间相通;沿柔性材料填充腔(3)侧壁设置有密封圈(5);
所述的离心装置包括离心箱(7)和离心电机(8),离心箱(7)为温度可控的密闭箱体,离心电机(8)设置在离心箱(7)内,离心支架(9)的中心与离心电机(8)的动力输出轴连接,成型腔体装置放在离心支架(9)的置物架(10)内。
2.如权利要求1所述的一种用于柔性微纳器件结构加工的设备,其特征在于:所述的下层本体(1-1)的底面和上层本体(2-1)的顶面为矩形、正方形或正多边形。
3.如权利要求1所述的一种用于柔性微纳器件结构加工的设备,其特征在于:所述的圆形凹槽(1-2)的直径为100mm~300mm,深度为2~3mm。
4.如权利要求1所述的一种用于柔性微纳器件结构加工的设备,其特征在于:所述的离心电机(8)转速为500rpm~5000rpm。
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