[发明专利]一种钙钛矿成膜工艺在审
| 申请号： | 201910500851.5 | 申请日： | 2019-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN110289358A | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 寿春晖;盛江;闫锦;叶继春;闫宝杰;姜二帅;李楠;丁莞尔;沈曲 | 申请（专利权）人： | 浙江浙能技术研究院有限公司;中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | H01L51/48 | 分类号： | H01L51/48 |
| 代理公司： | 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 | 代理人： | 张羽振 |
| 地址： | 311121 浙江省杭州市余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衬底 滴加 钙钛矿 前驱液 软膜 退火 成膜工艺 拖动 机械手 薄膜损伤 高效制备 均匀涂覆 线性覆盖 一侧边缘 重要意义 产业化 剪切力 成膜 覆盖 刮头 膜厚 时长 硬质 调控 | ||
【权利要求书】：
1.一种钙钛矿成膜工艺，其特征在于，包括软膜、钙钛矿前驱液和钙钛矿前驱液溶剂；包括如下步骤：
1)取前驱液滴加在衬底一侧；
2)连续匀速滴加，滴加速率为0.1mL/min-10mL/min，滴加范围是沿着衬底一侧直线滴加，直至前驱液完全线性覆盖衬底一侧边缘为止；
3)用适宜于上述条件的软膜覆盖于滴加前驱液的一侧，用机械手拖动软膜，刷向衬底另一侧，得到均匀涂覆在衬底上的前驱液；
4)0-300℃条件下退火,退火时长0-300min。
2.根据权利要求1所述的钙钛矿成膜工艺，其特征在于，软膜材质为树脂、纤维或凝胶。
3.根据权利要求1所述的钙钛矿成膜工艺，其特征在于，软膜具有弹性模量，软膜厚度为0.05mm-5mm。
4.根据权利要求1所述的钙钛矿成膜工艺，其特征在于，钙钛矿前驱液的成分包括碘化铅与碘甲胺，其中碘化铅与碘甲胺的摩尔比为1:1到1:1.2之间。
5.根据权利要求1所述的钙钛矿成膜工艺，其特征在于，钙钛矿前驱液溶剂为DMF。
6.根据权利要求1所述的钙钛矿成膜工艺，其特征在于，钙钛矿前驱液溶剂包括DMF、DMSO和GBL；DMF与DMSO的摩尔比范围3:1到1:1，DMF与GBL的摩尔比范围12:1到5:1。
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