[发明专利]一种钙钛矿成膜工艺在审
申请号: | 201910500851.5 | 申请日: | 2019-06-11 |
公开(公告)号: | CN110289358A | 公开(公告)日: | 2019-09-27 |
发明(设计)人: | 寿春晖;盛江;闫锦;叶继春;闫宝杰;姜二帅;李楠;丁莞尔;沈曲 | 申请(专利权)人: | 浙江浙能技术研究院有限公司;中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | H01L51/48 | 分类号: | H01L51/48 |
代理公司: | 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 | 代理人: | 张羽振 |
地址: | 311121 浙江省杭州市余*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 衬底 滴加 钙钛矿 前驱液 软膜 退火 成膜工艺 拖动 机械手 薄膜损伤 高效制备 均匀涂覆 线性覆盖 一侧边缘 重要意义 产业化 剪切力 成膜 覆盖 刮头 膜厚 时长 硬质 调控 | ||
本发明涉及一种钙钛矿成膜工艺,包括:步骤1)取前驱液滴加在衬底一侧;步骤2)连续匀速滴加,滴加速率为0.1mL/min‑10mL/min,滴加范围是沿着衬底一侧直线滴加,直至前驱液完全线性覆盖衬底一侧边缘为止;步骤3)用适宜于上述条件的软膜覆盖于滴加前驱液的一侧,用机械手拖动软膜,刷向衬底另一侧,得到均匀涂覆在衬底上的前驱液;步骤4)0‑300℃条件下退火,退火时长0‑300min。本发明的有益效果是:采用软膜覆盖的刷膜方法,通过剪切力的作用达到准确调控膜厚的效果,同时也避免了硬质刮头可能带来的薄膜损伤,从而实现钙钛矿大面积成膜的高效制备。对钙钛矿的大面积产业化推进有重要意义。
技术领域
本发明涉及钙钛矿太阳能电池领域,更具体地说,它涉及一种钙钛矿成膜工艺。
背景技术
高效制备大面积的均匀薄膜是一直以来钙钛矿电池领域面临的一个重要问题,薄膜面积的大小,膜厚均一性的精准调控以及原材料利用率等技术问题一直以来得到广泛的关注。对于液态前驱液的大面积成膜,目前常见的方法主要有延流法和刮涂法,常采用调控流体量或者刮头与基板之间的间距来调整薄膜的厚度。但是,流平的方法受到液体量的影响较大,仅能在一定程度上保证膜厚,无法做到精准调控,而刮涂虽然可以通过调控刮头与基板间距达到精准调控,但是刮头质硬,对薄膜在一定程度上存在损伤,因此,寻找一种无损伤,同时可以精确调控膜厚的钙钛矿大面积成膜工艺具有重要的意义。
对于目前的钙钛矿大面积成膜方法,延流法和刮涂法已经取得了很好的效果,但是依然存在一些技术问题,主要表现为:在大面积成膜过程中,膜厚的均匀一致性如何保证。硬质刮头对薄膜造成一定程度的损伤,降低了成膜质量。
发明内容
本发明的目的在于克服上述不足,提供一种钙钛矿成膜工艺。
钙钛矿成膜工艺,包括软膜、钙钛矿前驱液和钙钛矿前驱液溶剂;包括如下步骤:
1)取前驱液滴加在衬底一侧;
2)连续匀速滴加,滴加速率为0.1mL/min-10mL/min,滴加范围是沿着衬底一侧直线滴加,直至前驱液完全线性覆盖衬底一侧边缘为止;
3)用适宜于上述条件的软膜覆盖于滴加前驱液的一侧,用机械手拖动软膜,刷向衬底另一侧,得到均匀涂覆在衬底上的前驱液;
4)0-300℃条件下退火,退火时长0-300min。
作为优选:软膜材质为树脂、纤维或凝胶。
作为优选:软膜具有弹性模量,软膜厚度为0.05mm-5mm。
作为优选:钙钛矿前驱液的成分包括碘化铅与碘甲胺,其中碘化铅与碘甲胺的摩尔比为1:1到1:1.2之间。
作为优选:钙钛矿前驱液溶剂为DMF。
作为优选:钙钛矿前驱液溶剂包括DMF、DMSO和GBL;DMF与DMSO的摩尔比范围3:1到1:1,DMF与GBL的摩尔比范围12:1到5:1。
本发明的有益效果是:提出一种新的钙钛矿成膜工艺,采用软膜覆盖的刷膜方法,在刮涂的基础上进行改进,将硬质刮头改为柔性薄膜,结合薄膜与前驱液的表面张力,液体粘度以及薄膜的运动速率,通过三者的协同作用,得到恒定的水平面内的流体剪切力,通过剪切力的作用达到准确调控膜厚的效果,同时也避免了硬质刮头可能带来的薄膜损伤,从而实现钙钛矿大面积成膜的高效制备。对钙钛矿的大面积产业化推进有重要意义。
附图说明
图1是刷膜工艺示意图;
图2是实施例对比图;
具体实施方式
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