[发明专利]相机姿势估算方法和基板处理装置

权利要求书

1.一种用于估算相机的姿势的方法，所述相机安装在基板处理装置中以倾斜地拍摄物体，其中，所述方法包括：

去除除了基板之外的剩余背景，且执行椭圆拟合；

通过使用相机图像的中心和利用执行所述椭圆拟合获得的椭圆形基板图像的中心之间的差异来调整所述相机的偏航方向；

通过使用由执行所述椭圆拟合获得的所述椭圆形基板图像中椭圆的倾斜角度来调整所述相机的滚转方向；以及

通过使用由执行所述椭圆拟合获得的所述椭圆形基板图像中所述椭圆的短轴和长轴的比例来调整所述相机的俯仰方向。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述相机的偏航方向的调整包括：

识别通过执行所述椭圆拟合获得的所述椭圆形基板图像的中心；

计算所述椭圆形基板图像的中心和所述相机图像的中心像素位置之间的距离差；以及

通过所述距离差来调整所述偏航方向。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述相机的偏航方向的调整包括：

在执行所述椭圆拟合之前，检测安装在配置为支承所述基板的支承单元的中心中的背部喷嘴；

计算所述检测到的背部喷嘴的图像的中心像素位置和所述相机图像的中心像素位置之间的距离差；以及

通过所述距离差来调整所述偏航方向。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述相机的滚转方向的调整包括：

估算通过执行所述椭圆拟合获得椭圆形基板图像的倾斜角度；以及

通过所述倾斜角度来调整所述滚转方向。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述相机的俯仰方向的调整包括：

测量通过执行所述椭圆拟合获得的椭圆形基板图像的长轴和短轴的长度；

通过使用测量的所述长轴和所述短轴的长度计算俯仰角度；以及

通过参考设计角度和所述计算的俯仰角度之间的差异来调整所述俯仰方向。

6.根据权利要求2到5中任一项所述的方法，其中，独立地执行所述相机的所述滚转方向、俯仰方向或偏航方向的调整。

7.一种用于处理基板的装置，其中，所述装置包括：

处理腔室，其在内部具有处理空间；

支承单元，其配置为在所述处理腔室中支承所述基板；

气体供应单元，其配置为将处理气体供应至所述处理空间；

等离子体源，其配置为从所述处理气体生成等离子体；

相机，其安装在所述装置中以倾斜地拍摄所述基板；和

控制器，其配置为通过使用在所述支承单元上支承的基板在偏航方向、滚转方向或俯仰方向上调整所述相机的姿势，

其中，所述控制器包括拟合单元，所述拟合单元配置为去除除了拍摄的所述基板之外的剩余背景，并执行椭圆拟合。

8.根据权利要求7所述的装置，其中，所述控制器包括第一控制器，所述第一控制器配置为调整所述相机的偏航方向，并且

其中，所述第一控制器：

识别通过由所述拟合单元执行所述椭圆拟合获得的椭圆形基板图像的中心；

计算所述椭圆形基板图像的中心和由所述相机拍摄的图像的中心像素位置之间的距离差；以及

通过所述距离差来调整所述偏航方向。

9.根据权利要求7所述的装置，其中，所述控制器包括第一控制器，所述第一控制器配置为调整所述相机的偏航方向，并且

其中，所述第一控制器：

检测安装在配置为支承所述基板的所述支承单元的中心上的背部喷嘴；

计算所述检测到的背部喷嘴的图像的中心像素位置和由所述相机拍摄的图像的中心像素位置之间的距离差；以及

通过所述距离差调整所述偏航方向。