[发明专利]相机姿势估算方法和基板处理装置

说明书

一种用于估算相机的姿势的方法，所述相机安装在基板处理装置中以倾斜地拍摄物体，所述方法包括：去除除了基板之外的剩余背景，且执行椭圆拟合；通过使用相机图像的中心和利用执行所述椭圆拟合获得的椭圆形基板图像的中心之间的差异来调整所述相机的偏航方向；通过使用由执行所述椭圆拟合获得的所述椭圆形基板图像中椭圆的倾斜角度来调整所述相机的滚转方向；和通过使用由执行所述椭圆拟合获得的所述椭圆形基板图像中所述椭圆的短轴和长轴的比例来调整所述相机的俯仰方向。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2018年06月11日提交韩国工业产权局、申请号为10-2018-0066691的韩国专利申请的优先权和权益，其全部内容通过引用结合在本申请中。

技术领域

本文中描述的本发明构思的实施方式涉及一种相机姿势估算方法和一种基板处理装置。

背景技术

安装在半导体设备中的旨在检查的相机必须精确地安装在指定位置以用于精确的检查。当这不满足时，可能导致检查失败或故障，并且由于批量生产设备的性质，可能出现零件容差(tolerance)和装配容差的问题。为了使其统一，必须精确地调整每个相机的安装位置。为了精确地调整相机的位置，需要诸如具有如图1所示的特殊图案的基板的专用夹具，相机的位置通过使用三维测量相机来估算(estimate)，相机的位置通过使用习得的图像中的特征点来估算，或者使用利用倾斜的外部传感器或重力传感器。

然而，在使用诸如具有如图1所示的特殊图案的基板的专用夹具的情况下，使用用于调整相机的相应的夹具是很麻烦的。在使用三维测量相机的情况下，存在成本的问题，且在作为最初的目标的监测不需要三维测量相机的情况下，安装相机以估算姿势(posture)可能是浪费。此外，在使用习得的图像中的特征点估算相机位置的情况下，因为估算是基于习得的信息来执行的，因此不适合精确调整。此外，使用利用倾斜的外部传感器或重力传感器的方法在附加的成本和单独的安装空间方面也存在问题。

发明内容

本发明构思的实施方式提供了一种基板处理装置，该基板处理装置包括用于单独估算位置而不依赖于特殊夹具、外部传感器或学习数据的相机。

本发明构思的实施方式提供了一种基板处理装置，该基板处理装置用于通过使用拍摄当前基板的相机来实时估算姿势。

本发明构思的实施方式提供了一种用于容易地且精确地估算相机的姿势的方法。

本发明构思所要解决的技术问题不限于上述的问题。本发明构思所属领域的技术人员将从以下描述中清楚地理解本文中没有提及的任何其他技术问题。

根据一示例性实施方式，公开了一种用于估算相机的姿势的方法，该相机安装在基板处理装置中以倾斜地拍摄物体。

所述相机姿势估算方法包括去除除了基板之外的剩余背景，且执行椭圆拟合。

此外，所述相机姿势估算方法还包括通过使用相机图像的中心和利用执行所述椭圆拟合获得的椭圆形基板图像的中心之间的差异来调整所述相机的偏航方向；通过使用由执行所述椭圆拟合获得的所述椭圆形基板图像中椭圆的倾斜角度来调整所述相机的滚转方向；以及，通过使用由执行所述椭圆拟合获得的所述椭圆形基板图像中所述椭圆的短轴和长轴的比例来调整所述相机的俯仰方向。

所述相机的偏航方向的调整可包括：识别通过执行所述椭圆拟合获得的所述椭圆形基板图像的中心；计算所述椭圆形基板图像的中心和所述相机图像的中心像素位置之间的距离差；以及通过所述距离差调整所述偏航方向。

在本发明构思的另一实施方式中，所述相机的偏航方向的调整可包括：在执行所述椭圆拟合之前，检测安装在支承所述基板的支承单元的中心上的背部喷嘴；计算所述检测到的背部喷嘴的图像的中心像素位置和所述相机图像的中心像素位置之间的距离差；以及通过所述距离差调整所述偏航方向。