[发明专利]基于RFID的无源电子标签定位装置及定位方法

说明书

本发明提供一种基于RFID的无源电子标签定位装置，包括：至少两个天线；无源电子标签，无源电子标签在天线的辐射远场区内；读取模块，与天线分别相连接，用于读取无源电子标签的标签信息；及控制模块，与读取模块相连接，用于基于读取模块激活天线且对天线的输出功率进行调节，在读取模块读取到无源电子标签的标签信息后对天线的输出功率进行调节以确定无源电子标签相对天线的功率接收临界点，根据所有天线与无源电子标签的功率接收临界点以确定无源电子标签的空间位置。相较于传统的定位装置和定位方法，本发明的定位成本低、定位精度高。本发明可适应半导体厂内的复杂生产环境，可应用于人员和设备的定位，有助于保障生命和财产安全。

技术领域

本发明涉及半导体芯片生产制造领域，具体涉及半导体厂内的空间定位装置和定位方法，特别是涉及一种基于RFID的无源电子标签定位装置及定位方法。

背景技术

RFID(Radio Frequency Identification)技术，又称无线射频识别，由于其无需识别系统与特定目标之间建立机械或光学接触，因而在物流网领域得到广泛应用。

但目前仍没有成熟的UHF-RFID(超高频-射频识别技术)可直接应用于半导体厂内的空间定位，原因之一在于半导体厂内不少生产区间需使用特定的频段且半导体厂内的信号干扰比较大，使得现有的定位装置和定位方法难以直接应用到半导体厂内。而已知的诸如临近探测法、质心定位法和航位推算法等均需要铺设多个节点参照物来用于室内空间定位，不仅成本高昂，而且因半导体厂内复杂的生产环境使得在应用这些定位装置和定位方法时受到较强的干扰而无法实现精确定位。

随着晶圆尺寸的不断增大和生产自动化程度的不断提高，半导体芯片制造厂的面积越来越大而工作人员越来越少，这使得实现半导体厂内空间的精确定位，比如确定工作人员在工厂内的准确位置越来越重要，不仅在工作人员出现意外情况时能通过精确定位找到相关人员并作出急救措施；同时，通过定位可监控工作人员是否有进入未被允许的工作区域(半导体厂内有些区域严格限制非相关人员的进入)，有助于提高半导体厂内的安全管理水平，保障生命和财产安全。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种基于RFID的无源电子标签定位装置及定位方法，用于解决现有的定位装置和定位方法无法实现半导体厂内的精确定位，及/或现有的定位装置成本高、定位方法复杂等问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种基于RFID的无源电子标签定位装置，所述定位装置包括：

至少两个天线；

无源电子标签，所述无源电子标签在所述至少两个天线的辐射远场区内；

读取模块，与所述至少两个天线分别相连接，用于读取所述无源电子标签的标签信息；

控制模块，与所述读取模块相连接，用于基于所述读取模块激活所述天线且对所述天线的输出功率进行调节，在所述读取模块读取到所述无源电子标签的标签信息后对所述天线的输出功率进行调节以确定所述无源电子标签相对所述天线的功率接收临界点，根据所述无源电子标签与所有天线的功率接收临界点以确定所述无源电子标签的空间位置。

可选地，所述天线的输出功率精度为1/10～1/100dBm。

可选地，所述控制模块通过控制所述读取模块向所述天线发射高频激励信号来激活所述天线。

可选地，所述至少两个天线的尺寸、结构和电性能参数均相同。

可选地，所述天线的数量大于等于3个，所述天线的高度不完全相同。

本发明还提供一种基于前述任一项所述的RFID的无源电子标签定位装置的定位方法，所述定位方法包括以下步骤：

控制所述读取模块激活所述天线；