[发明专利]冷却装置及立式炉系统在审
申请号: | 201910509797.0 | 申请日: | 2019-06-12 |
公开(公告)号: | CN112086376A | 公开(公告)日: | 2020-12-15 |
发明(设计)人: | 赵宏图 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;F27B1/24 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;张天舒 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 冷却 装置 立式 系统 | ||
1.一种冷却装置,与炉体出气口连接,其特征在于,包括:辅助支架、排风盒组件以及热交换组件;
所述辅助支架用于支撑所述排风盒组件、所述热交换组件;
所述排风盒组件的进气端与所述炉体出气口连接,所述排风盒组件的出气端与所述热交换组件的进气端连接。
2.根据权利要求1所述的冷却装置,其特征在于,所述排风盒组件包括:容置腔和切换组件;
所述切换组件位于所述容置腔中,用于阻断或接通所述排风盒组件的进气端与所述炉体出气口之间的连接处。
3.根据权利要求2所述的冷却装置,其特征在于,所述切换组件包括:风门板、转轴、滑轨、滑块以及驱动机构;
所述风门板位于所述容置腔中,用于闭合或开启所述炉体出气口;
所述转轴与所述风门板固定连接;
所述转轴与所述滑轨固定连接;
所述滑轨与所述滑块相配合;
所述驱动机构通过驱动所述滑轨中的所述滑块,使所述风门板围绕所述转轴中心转动。
4.根据权利要求3所述的冷却装置,其特征在于,所述切换组件还包括:指针;
所述指针一端与所述转轴侧壁固定连接;所述指针另一端伸出所述容置腔外部,所述指针用于指示所述风门板闭合或开启所述炉体出气口的状态。
5.根据权利要求2-4任一项所述的冷却装置,其特征在于,所述排风盒组件还包括:分别与所述容置腔相连通的第一法兰与第二法兰;
所述第一法兰与所述炉体出气口固定连接;
所述第二法兰与所述热交换组件固定连接。
6.根据权利要求5所述的冷却装置,其特征在于,所述排风盒组件还包括:隔热板;
所述隔热板位于所述炉体出气口与所述第一法兰之间,用于隔绝所述第一法兰与所述炉体之间的热传导。
7.根据权利要求5所述的冷却装置,其特征在于,所述排风盒组件还包括:位于所述排风盒组件本体上的检修口以及观察口。
8.根据权利要求1-4任一项所述的冷却装置,其特征在于,所述热交换组件设置有排气通道,以及冷却机构;
所述排气通道的进气端与所述排风盒组件的出气端连通;
所述冷却机构用于冷却所述排气通道中的气体。
9.根据权利要求8所述的冷却装置,其特征在于,所述冷却机构包括冷却管或冷却带;
所述冷却管或冷却带环绕在所述排气通道上,用于冷却所述排气通道。
10.根据权利要求1-4任一项所述的冷却装置,其特征在于,还包括:与所述热交换组件的出气端连接的后排气盒组件;
所述后排气盒组件用于改变所述气体流动方向。
11.根据权利要求10所述的冷却装置,其特征在于,所述后排气盒组件包括:过渡腔室、真空阀以及排气法兰;
所述过渡腔室用于容置所述热交换组件排出的气体;
所述真空阀位于所述过渡腔室下方;
所述排气法兰与所述真空阀的出气端连接,并且所述排气法兰的出气口相对于所述炉体出气口的出气方向具有设定角度的夹角,所述设定角度大于零。
12.一种立式炉系统,包括:立式炉体,其特征在于,还包括:权利要求1-11任一项所述的冷却装置,所述冷却装置用于冷却所述立式炉体的出气口排出的气体。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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