[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其具有：

卡盘工作台，其对板状的被加工物进行保持；

激光光线照射单元，其具有对该卡盘工作台所保持的被加工物照射激光光线的聚光器；

加工进给构件，其将该卡盘工作台和该激光光线照射单元相对地进行加工进给；

腔室，其具有与该聚光器连接的顶壁和与该顶壁连接的侧壁以限定出围绕空间，该顶壁具有透明板，该透明板定位于该聚光器的正下方并且允许由该聚光器照射的激光光线通过，该侧壁具有引导液体进入该围绕空间的进口开口和将该液体从该围绕空间排出的出口开口，该侧壁位于该卡盘工作台的上方，在该侧壁的下表面与该卡盘工作台所保持的该被加工物的上表面之间形成间隙，其中，该侧壁的下表面是平坦面；以及

液体提供部，其从液体提供泵向该腔室的该围绕空间提供液体而利用液体将该腔室的该围绕空间在预定压力下充满，并且允许从该腔室的该出口开口排出的该液体流过该平坦面与该被加工物的该上表面之间的间隙，从而根据该液体提供泵的喷出量和该间隙的尺寸在液体中生成压力而对因激光光线的照射而产生的泡进行压缩，

将该液体提供到该腔室内的液体提供路形成在与将该卡盘工作台和该激光光线照射单元相对地进行加工进给的加工进给方向垂直的方向上，并且提供该液体的液体提供部从与该加工进给方向垂直的方向的配设有液体提供泵的那一侧与将该液体向该液体提供路导入的液体提供口连接，

提供到该腔室的内部并生成对因激光光线的照射而产生的泡进行压缩的压力的液体从该间隙向不受到该压力的影响的外侧区域排出。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

该激光光线照射单元包含使激光光线在加工进给方向上分散的分散构件。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其中，

该腔室内的压力保持为6个大气压～10个大气压。