[发明专利]用于衬底涂覆的气垫设备和技术

权利要求书

1.一种用于在衬底上形成材料层的系统，所述系统包括：

多个涂覆系统，每个涂覆系统包括：

打印区，所述打印区包括打印系统，以在打印区中将材料沉积在衬底的表面上；

处理区，所述处理区包括处理系统，以处理沉积在衬底的表面上的材料，以从所述材料形成固体层；和

衬底输送设备，以在打印区和处理区之间输送衬底；以及

衬底操控器，以固持衬底，所述衬底操控器能选择性地定位以将衬底装载到每个涂覆系统中且将衬底从每个涂覆系统卸载。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，打印区还包括配置成建立气垫以悬浮衬底的衬底支撑设备。

3.根据权利要求1所述的系统，其中，处理区还包括配置成建立气垫以悬浮衬底的衬底支撑设备。

4.根据权利要求1所述的系统，其中，衬底输送设备配置成在打印区和处理区之间输送期间悬浮衬底。

5.根据权利要求1所述的系统，还包括输送模块，所述输送模块容纳衬底操控器且联接到所述多个涂覆系统中的每个。

6.根据权利要求5所述的系统，其中：

所述多个涂覆系统中的每个容纳在封装件内，所述封装件配置成保持受控环境；以及

所述输送模块连接到其中容纳所述多个涂覆系统中的每个的封装件中的每个。

7.根据权利要求6所述的系统，其中，所述输送模块配置成保持受控环境，所述受控环境是所述多个涂覆系统中的每个的受控环境。

8.根据权利要求6所述的系统，其中，所述输送模块配置成保持受控环境，所述受控环境独立于所述多个涂覆系统中的每个的受控环境。

9.根据权利要求6所述的系统，还包括一个或多个闸式阀或气帘，定位在衬底操控器能定位以将衬底装载到每个涂覆系统中且将衬底从每个涂覆系统卸载的位置。

10.根据权利要求6所述的系统，还包括一个或多个负载锁定模块，操作性地联接到输送模块，所述一个或多个负载锁定模块配置成将衬底装载到输送模块中和/或将衬底装载到输送模块之外。

11.根据权利要求10所述的系统，其中，所述一个或多个负载锁定模块包括固持衬底并将衬底装载到输送模块中和/或从输送模块卸载衬底的另一衬底操控器。

12.根据权利要求1所述的系统，其中，所述多个涂覆系统中的每个还包括固持区，所述固持区相对于打印区和处理区布置，使得衬底输送设备能够将衬底输送通过打印区、固持区和处理区中的每个。

13.根据权利要求12所述的系统，其中，固持区包括配置成建立气垫以在固持区支撑衬底的衬底支撑设备。

14.根据权利要求1所述的系统，还包括联接到所述多个涂覆系统的固持模块，所述固持模块接收要在所述多个涂覆系统中的一个或多个中处理的一个或多个衬底。

15.根据权利要求14所述的系统，其中，所述固持模块包括处于堆叠布置的多个衬底固持区域。

16.根据权利要求1所述的系统，其中，所述处理系统被配置成进行选自干燥、烘烤和化学反应中的至少一种的处理过程，以从沉积在衬底上的材料形成固体层。

17.根据权利要求1所述的系统，其中，所述处理系统包括光源，所述光源被配置成引起热或化学反应中的一个，以处理沉积在衬底的表面上的材料，以从所述材料形成固体层。