[发明专利]FOUP清洗装置

权利要求书

1.一种FOUP清洗装置，其特征在于，包括：

清洗腔，用于容纳FOUP，所述FOUP具有用于容纳晶圆的容纳腔；

第一喷嘴，位于所述清洗腔内，用于向所述容纳腔喷射清洗液；

驱动结构，用于驱动所述FOUP在所述清洗腔内转动，以排出所述容纳腔内的所述清洗液；

第二喷嘴，位于所述清洗腔内，用于向所述容纳腔喷射气体，以干燥残留的所述清洗液。

2.根据权利要求1所述的FOUP清洗装置，其特征在于，所述清洗腔包括相对分布的顶壁和底壁；所述FOUP清洗装置还包括：

升降柱，一端与所述顶壁连接、另一端安装有超声波发生器，且所述升降柱能够沿竖直方向进行升降运动。

3.根据权利要求2所述的FOUP清洗装置，其特征在于，所述FOUP包括相对分布的前部、后部以及位于所述前部和后部之间且相对分布的顶部和底部，所述前部具有用于晶圆进出的开口；

所述清洗腔还包括位于所述顶壁与所述底壁之间、且相对分布的第一侧壁和第二侧壁；

所述第二侧壁表面具有一支架，用于与所述FOUP的底部连接；

所述驱动结构用于驱动所述FOUP围绕所述FOUP的轴线自转，所述轴线自所述顶部指向所述底部且穿过所述FOUP的中心。

4.根据权利要求3所述的FOUP清洗装置，其特征在于，所述驱动结构包括位于所述清洗腔外部的驱动器和连杆；所述连杆的一端连接所述驱动器、另一端连接所述支架，用于驱动所述支架整体围绕所述轴线自转。

5.根据权利要求3所述的FOUP清洗装置，其特征在于，所述驱动结构包括位于所述清洗腔外部的驱动器和连杆；所述支架中具有一用于与所述FOUP的底部连接的转盘；所述连杆的一端连接所述驱动器、另一端连接所述支架，用于驱动所述转盘沿所述轴线自转。

6.根据权利要求4或5所述的FOUP清洗装置，其特征在于，还包括外壳以及隔板；所述隔板将所述外壳围绕而成的腔体分隔为所述清洗腔和驱动腔，所述驱动器位于所述驱动腔。

7.根据权利要求3所述的FOUP清洗装置，其特征在于，所述第一喷嘴的数量为多个，且多个所述第一喷嘴至少分布于所述第一侧壁和所述顶壁。

8.根据权利要求3所述的FOUP清洗装置，其特征在于，所述第二喷嘴的数量为多个，且多个所述第二喷嘴至少分布于所述第一侧壁和所述第二侧壁。

9.根据权利要求3所述的FOUP清洗装置，其特征在于，所述FOUP的底部具有至少一通孔；所述FOUP清洗装置还包括至少一管道，所述管道用于自所述通孔向所述容纳腔传输所述气体。

10.根据权利要求3所述的FOUP清洗装置，其特征在于，所述FOUP还包括用于封闭所述开口的门板；所述第一侧壁上具有一支撑板；所述支撑板朝向所述第二侧壁延伸，用于承载所述门板。