[发明专利]一种超稳定三电极电子束蒸发源在审
| 申请号： | 201910516095.5 | 申请日： | 2019-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN110117772A | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 谢斌平;阿力甫·库提鲁克;李浩 | 申请（专利权）人： | 费勉仪器科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 201906 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 靶材 灯丝 负电 支撑基座 电子束蒸发源 电子束轨迹 反射板 三电极 接通 电子束蒸发装置 耐高温金属材料 简化装置结构 电压设置 电子束源 降低装置 连续调节 提高装置 延长装置 蒸发材料 不均匀 放气率 兼容性 蒸发源 加热 污染 蒸发 | ||
1.一种超稳定三电极电子束蒸发源，其特征在于，包括：靶材、灯丝和支撑基座；其中，
所述靶材固定至所述支撑基座；
所述灯丝为耐高温金属材料，固定至所述支撑基座，设置于所述靶材上方，所述灯丝接通负电。
2.根据权利要求1所述的一种超稳定三电极电子束蒸发源，其特征在于，还包括沿靶材延伸方向设置于所述灯丝与所述靶材之间的反射板。
3.根据权利要求2所述的一种超稳定三电极电子束蒸发源，其特征在于，所述靶材接地或接通正电，所述灯丝接通的负电电压设置为所述灯丝与所述靶材的电势差大于500V的。
4.根据权利要求3所述的一种超稳定三电极电子束蒸发源，其特征在于，所述反射板接地。
5.根据权利要求3所述的一种超稳定三电极电子束蒸发源，其特征在于，所述反射板接通负电。
6.根据权利要求5所述的一种超稳定三电极电子束蒸发源，其特征在于，所述反射板接通的负电电压为可连续调节的。
7.根据权利要求6所述的一种超稳定三电极电子束蒸发源，其特征在于，所述反射板接通的负电电压，在[-400V,0]范围内。
8.根据权利要求4或7中任一所述的一种超稳定三电极电子束蒸发源，其特征在于，所述灯丝线圈的边缘和所述反射板的边缘处于平行于靶材方向的同一平面内。
9.根据权利要求8所述的一种超稳定三电极电子束蒸发源，其特征在于，所述反射板使用耐高温材料，材料包括钽、钼或钨。
10.根据权利要求9所述的一种超稳定三电极电子束蒸发源，其特征在于，还包括载物坩埚，所述载物坩埚固定至所述支撑基座，所述靶材设置于所述载物坩埚内。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于费勉仪器科技（上海）有限公司，未经费勉仪器科技（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910516095.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
