[发明专利]涂布膜形成方法和涂布膜形成装置

权利要求书

1.一种涂布膜形成方法，包括以下的工序：

涂布膜形成工序，向在表面具有具备高度差的图案的基板的该表面整体供给涂布液来形成涂布膜；

加压工序，利用具备覆盖被保持于第一保持部的所述基板的表面整体的平坦面的加压部，使所述平坦面相对地按压所述基板的涂布膜；以及

涂布膜固化工序，使表面被平坦化后的所述涂布膜固化。

2.根据权利要求1所述的涂布膜形成方法，其特征在于，

所述加压工序包括在将所述基板的周围的气氛设为比大气压低的减压气氛后在该减压气氛中利用所述加压部进行按压的工序。

3.根据权利要求2所述的涂布膜形成方法，其特征在于，

所述加压工序包括在进行了所述按压的状态下使所述第一保持部和加压部中的至少一方的温度上升来加热所述基板的工序。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的涂布膜形成方法，其特征在于，

所述涂布膜固化工序包括向所述涂布膜照射光来使所述涂布膜固化的工序。

5.根据权利要求1至3中的任一项所述的涂布膜形成方法，其特征在于，

所述涂布膜固化工序包括对基板进行加热以达到比加压工序中的所述基板的温度高的温度来使所述涂布膜固化的工序。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的涂布膜形成方法，其特征在于，

在进行所述加压工序之前，包括由与具备所述平坦面的加压主体部一起构成所述加压部的第二保持部将该加压主体部拆装自如地保持的保持工序，

所述加压工序在划分出的处理空间中进行，

在所述加压工序之后包括以下的工序：

在所述加压主体部的平坦面与所述基板的涂布膜粘接的状态下解除所述第二保持部对加压主体部的保持的保持解除工序；

接着，从所述处理空间向该处理空间的外部的用于进行所述基板与加压主体部的分离的分离部搬送所述基板和加压主体部的工序；以及

然后，在所述分离部中将彼此粘接的所述基板和加压主体部分离的分离工序。

7.根据权利要求6所述的涂布膜形成方法，其特征在于，

所述分离工序包括以下的工序：

通过所述分离部中的第三保持部和第四保持部分别保持所述基板和加压主体部的工序；

向所述基板的周缘部处的所述涂布膜与所述平坦面之间的界面插入用于解除这些涂布膜与平坦面的粘接的插入构件的插入工序；以及

在所述插入工序之后使所述第四保持部与所述第三保持部相对地远离来将所述加压主体部和所述基板分离的工序。

8.根据权利要求7所述的涂布膜形成方法，其特征在于，

在从进行所述保持解除工序起直至要进行所述分离工序为止的期间中包括一并对所述加压主体部和基板进行冷却的冷却工序。

9.根据权利要求8所述的涂布膜形成方法，其特征在于，

还包括利用驱动机构来使具备供所述基板的冷却用流体流通的流路的移动体在所述处理空间与该处理空间的外侧之间移动的工序，

所述冷却工序包括将所述基板载置于该移动体的工序。

10.根据权利要求6至9中的任一项所述的涂布膜形成方法，其特征在于，

在所述保持工序中所述第二保持部所保持的所述加压主体部的平坦面，形成有用于在所述分离工序中使所述涂布膜从该平坦面剥离的剥离膜，

所述涂布膜形成方法还包括以下的工序：

在进行该分离工序之后，将所述加压主体部从所述分离部搬送至膜重新生成部，从所述平坦面去除所述剥离膜后，在所述平坦面重新形成所述剥离膜的重新形成工序；以及

然后，将重新形成了所述剥离膜的加压主体部搬送至所述处理空间，由所述第二保持部来进行保持的工序。