[发明专利]光学元胞及分辨率板在审
| 申请号： | 201910519334.2 | 申请日： | 2019-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN110221366A | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | 陈树琪;刘文玮;程化;田建国 | 申请（专利权）人： | 南开大学 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00;G02B5/30 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 张磊 |
| 地址： | 300071*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 元胞 分辨率板 非晶硅 衬底 预设方式 排布 光学技术领域 成像测试 椭圆柱 分辨率 | ||
1.一种光学元胞，其特征在于，包括：衬底和设置于所述衬底上的纳米非晶硅柱；其中，所述纳米非晶硅柱包括纳米非晶硅圆柱和/或纳米非晶硅椭圆柱。
2.根据权利要求1所述的光学元胞，其特征在于，所述衬底包括长方形衬底。
3.根据权利要求1所述的光学元胞，其特征在于，所述纳米非晶硅圆柱的底面直径为270nm；所述纳米非晶硅椭圆柱的底面长轴为465nm，短轴为270nm；所述纳米非晶硅圆柱和所述纳米非晶硅椭圆柱的高均为860nm。
4.根据权利要求3所述的光学元胞，其特征在于，所述衬底的长边为750nm，短边为450nm。
5.根据权利要求1所述的光学元胞，其特征在于，所述衬底包括二氧化硅衬底。
6.一种分辨率板，其特征在于，包括如权利要求1至5任一项所述的光学元胞，多个所述光学元胞按照预设方式排布形成分辨率板。
7.根据权利要求6所述的分辨率板，其特征在于，所述光学元胞包括圆柱光学元胞和/或椭圆柱光学元胞；其中，所述圆柱光学元胞包括纳米非晶硅圆柱，所述椭圆柱光学元胞包括纳米非晶硅椭圆柱。
8.根据权利要求7所述的分辨率板，其特征在于，所述分辨率板包括用于实现同向偏振光转化的正分辨率板；
所述正分辨率板的高透过率像素位置处排布有所述圆柱光学元胞，所述正分辨率板的低透过率像素位置处排布有所述椭圆柱光学元胞。
9.根据权利要求7所述的分辨率板，其特征在于，所述分辨率板包括用于实现反向偏振光转化的负分辨率板；
所述负分辨率板的高透过率像素位置处排布有所述椭圆柱光学元胞，所述负分辨率板的低透过率像素位置处排布有所述圆柱光学元胞。
10.根据权利要求6所述的分辨率板，其特征在于，所述分辨率板还包括以下中的至少一种：覆盖层、粘结层和模板。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南开大学，未经南开大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910519334.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
