[发明专利]光学元胞及分辨率板

说明书

本发明提供了一种光学元胞及分辨率板，涉及光学技术领域，该光学元胞包括：衬底和设置于衬底上的纳米非晶硅柱；其中，纳米非晶硅柱包括纳米非晶硅圆柱和/或纳米非晶硅椭圆柱；多个光学元胞按照预设方式排布形成分辨率板。本发明通过采用衬底和纳米非晶硅柱，可以有效缩小光学元胞的尺寸，进而可以明显降低分辨率板的尺寸，以及通过按照预设方式将光学元胞按排布形成分辨率板，可以提高分辨率板的设计灵活性，从而适应更多成像测试场合的需求。

技术领域

本发明涉及光学技术领域，尤其是涉及一种光学元胞及分辨率板。

背景技术

目前分辨率板一般是利用振幅型掩模板的透光与不透光二元设计实现的。具体而言，将分辨率板需要透光的区域设计为镂空部分，将不需要透光的区域设计为遮光区域。但是，这种设计方式实现的分辨率板尺寸较大，不能适应诸如线偏振光和微尺度下等多种成像测试场合的需求。

发明内容

本发明的目的在于提供光学元胞及分辨率板，可以降低分辨率板的设计尺寸，适应更多成像测试场合的需求。

本发明提供的一种光学元胞，包括：衬底和设置于所述衬底上的纳米非晶硅柱；其中，所述纳米非晶硅柱包括纳米非晶硅圆柱和/或纳米非晶硅椭圆柱。

进一步的，所述衬底包括长方形衬底。

进一步的，所述纳米非晶硅圆柱的底面直径为270nm；所述纳米非晶硅椭圆柱的底面长轴为465nm，短轴为270nm；所述纳米非晶硅圆柱和所述纳米非晶硅椭圆柱的高均为860nm。

进一步的，所述衬底的长边为750nm，短边为450nm。

进一步的，所述衬底包括二氧化硅衬底。

本发明提供的一种分辨率板，包括上述的光学元胞，多个所述光学元胞按照预设方式排布形成分辨率板。

进一步的，所述光学元胞包括圆柱光学元胞和/或椭圆柱光学元胞；其中，所述圆柱光学元胞包括纳米非晶硅圆柱，所述椭圆柱光学元胞包括纳米非晶硅椭圆柱。

进一步的，所述分辨率板包括用于实现同向偏振光转化的正分辨率板；所述正分辨率板的高透过率像素位置处排布有所述圆柱光学元胞，所述正分辨率板的低透过率像素位置处排布有所述椭圆柱光学元胞。

进一步的，所述分辨率板包括用于实现反向偏振光转化的负分辨率板；所述负分辨率板的高透过率像素位置处排布有所述椭圆柱光学元胞，所述负分辨率板的低透过率像素位置处排布有所述圆柱光学元胞。

进一步的，所述分辨率板还包括以下中的至少一种：覆盖层、粘结层和模板。

本发明提供了一种光学元胞，包括：衬底和设置于衬底上的纳米非晶硅柱；其中，按照纳米非晶硅柱的底面形状，纳米非晶硅柱包括纳米非晶硅圆柱或纳米非晶硅椭圆柱。本发明通过采用衬底和纳米非晶硅柱，可以有效缩小光学元胞的尺寸。

本发明提供了一种分辨率板，包括光学元胞，多个所述光学元胞按照预设方式排布形成分辨率板。本发明通过采用纳米级的光学元胞设计分辨率板，可以明显降低分辨率板的尺寸，以及通过按照预设方式将光学元胞按排布形成分辨率板，可以提高分辨率板的设计灵活性，从而适应更多成像测试场合的需求。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的光学元胞的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的纳米非晶硅圆柱的俯视图；