[发明专利]用于连结材料的方法、板轴装置和以此形成的多层板

说明书

本发明涉及一种用于连结第一陶瓷件和第二陶瓷件的方法，所述方法包括：在两个陶瓷件之间钎焊连续的连结材料的层。连结材料的变湿和流动可以通过选择连结材料、连结温度、温度下的时间和连结气氛及其它因素而被控制。陶瓷件可以是氮化铝，并且陶瓷件可以在受控的气氛下用铝合金钎焊。连结部材料可以适于随后既耐得住在衬底处理期间在处理室内的环境，又耐得住含氧气氛，所述含氧气氛可以在加热器的或静电卡盘的轴内看到。

本申请是发明名称为“用于连结材料的方法、板轴装置和以此形成的多层板”、国际申请日为2012年11月30日、国际申请号为PCT/US2012/067491、国家申请号为201280068344.5的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及用于将物体连结在一起的方法，并且更具体地，本发明涉及用于连结陶瓷物体的钎焊方法。

背景技术

陶瓷材料的连结会涉及需要非常高的温度和非常高的接触压力的处理。例如，液相烧结可以用于将陶瓷材料连结在一起。在该类型的制造中，看到至少两个缺点。首先，较大的复杂陶瓷件的热加压/烧结在非常专业的处理炉内需要较大的物理空间。其次，倘若成品件的一部分由于磨损而变损坏或失效，则没有可用于拆开较大件的修复方法。由于专用夹具、高温以及无法拆卸，这些组件无不导致非常高的制造成本。

其它处理可以面向强度，并且可以在件之间产生较强的粘合力，虽然所述粘合力在结构上是充分的，但是没有气密地密封住件。在某些处理中，使用扩散粘合，所述扩散粘合会耗费明显大量的时间，并且还会改变各个件，使得这些件在连结部附近形成新化合物。这会使得新化合物不适于某些应用，并且不能被返工或修复或和再连结。

需要一种用于在低温下连结陶瓷件的连结方法，并且提供一种气密的密封件，并且允许用于修复。

附图说明

图1是根据本发明的某些实施例的连结部的SEM剖视图；

图2是根据本发明的某些实施例的连结部的SEM剖视图；

图3是根据本发明的某些实施例的连结部的SEM剖视图，

图4是根据本发明的某些实施例的连结部的SEM剖视图；

图5是根据本发明的某些实施例的连结部的SEM剖视图；

图6是根据本发明的某些实施例的连结的陶瓷组件的示意图的简图；

图7是根据本发明的某些实施例的连结的陶瓷组件的剖视图；

图8是根据本发明的某些实施例的、具有支座台面的陶瓷件的透视图；

图9是根据本发明的某些实施例桥接不同气氛的连结部的剖视图；

图10是表示连结部的连结部完整性的视图；

图11是表示连结部的连结部完整性的视图；

图12是表示连结部的连结部完整性的视图；

图13是表示连结部的连结部完整性的视图；

图14是表示连结部的连结部完整性的视图；

图15是表示连结部的连结部完整性的视图；

图16是表示连结部的连结部完整性的视图；

图17是表示连结部的连结部完整性的视图；

图18是表示连结部的连结部完整性的视图；

图19是表示连结部的连结部完整性的视图；

图20是根据本发明的某些实施例的、用在半导体处理中的板轴装置的视图；

图21是根据本发明的某些实施例的、用于板的高温压机和炉的简图；