[发明专利]一种过渡金属硫族化合物薄层材料及其制备方法和应用有效
申请号: | 201910529446.6 | 申请日: | 2019-06-19 |
公开(公告)号: | CN110257800B | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 成会明;蔡正阳;赖泳爵;刘碧录 | 申请(专利权)人: | 清华-伯克利深圳学院筹备办公室 |
主分类号: | C23C16/30 | 分类号: | C23C16/30;C23C16/44 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 洪铭福 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 过渡 金属 化合物 薄层 材料 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种过渡金属硫族化合物薄层材料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、将过渡金属源均匀铺设于两块衬底之间,制备成夹层结构;
S2、将所述夹层结构进行热处理,使两块衬底熔融粘合在一起;
S3、将硫族元素源和步骤S2处理后的夹层结构在保护气体的保护下进行化学气相沉积反应;所述过渡金属源在反应温度下受热溶解、扩散,并在所述衬底表面析出,与所述硫族元素源反应;所述硫族元素源包括硫源、硒源、碲源中的一种或多种。
2.根据权利要求1所述的过渡金属硫族化合物薄层材料的制备方法,其特征在于,所述过渡金属源选自钼源、钨源、钒源、铼源、钽源、铌源、钛源、铂源、钯源中的一种或多种。
3.根据权利要求1所述的过渡金属硫族化合物薄层材料的制备方法,其特征在于,所述硫源选自固相硫源、液相硫源、气相硫源中的一种或多种。
4.根据权利要求1所述的过渡金属硫族化合物薄层材料的制备方法,其特征在于,所述过渡金属源与所述硫族元素源的质量比为1:(10~300)。
5.根据权利要求1所述的过渡金属硫族化合物薄层材料的制备方法,其特征在于,所述衬底为玻璃衬底。
6.根据权利要求5所述的过渡金属硫族化合物薄层材料的制备方法,其特征在于,所述玻璃衬底的材质选自钠钙玻璃、钾玻璃、铝镁玻璃、铅钾玻璃、硼硅玻璃、石英玻璃中的一种或多种。
7.根据权利要求5所述的过渡金属硫族化合物薄层材料的制备方法,其特征在于,两块衬底包括底层衬底和上层衬底,所述底层衬底的厚度范围为0.01~50.00mm,所述上层衬底的厚度范围为0.01~0.50mm。
8.根据权利要求7所述的过渡金属硫族化合物薄层材料的制备方法,其特征在于,两块衬底的面积均为(1~100)cm2,所述过渡金属源在衬底上的担载量为(0.2~10) mg/cm2。
9.根据权利要求1所述的过渡金属硫族化合物薄层材料的制备方法,其特征在于,步骤S2中,所述热处理的温度为100~720℃。
10.根据权利要求1-9中任一项所述的过渡金属硫族化合物薄层材料的制备方法,其特征在于,步骤S3中,所述化学气相沉积反应在0.05~1000Torr、200~780℃以及保护气体的保护下进行;所述保护气体为氮气、氦气、氖气、氩气、氪气、氙气、氡气、氢气、二氧化碳中的一种或多种。
11.一种过渡金属硫族化合物薄层材料,其特征在于,由权利要求1-10中任一项所述的过渡金属硫族化合物薄层材料的制备方法制得。
12.权利要求11所述过渡金属硫族化合物薄层材料在电子器件、光学器件、光电器件、化学生物传感器或电化学催化器件中的应用。
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