[发明专利]阵列基板及其制作方法、显示面板和指纹识别显示装置

说明书

本发明提供一种阵列基板及其制作方法、显示面板和指纹识别显示装置，阵列基板包括衬底基板和多个指纹识别单元，指纹识别单元包括位于衬底基板一侧的至少一个光电二极管，光电二极管包括第一电极、第一半导体层、第二半导体层和第二电极；第一半导体层为多晶硅，第二半导体层为非晶硅；第一电极与第一半导体层电连接；第二半导体层位于第一半导体层远离衬底基板的一侧并与第一半导体层直接接触，且两者直接接触的接触面积为第一接触面积；第二电极位于第二半导体层远离衬底基板的一侧并与第二半导体层直接接触，且两者直接接触的接触面积为第二接触面积；第二接触面积大于等于第一接触面积。本发明能提升基于LTPS制程制作的光电二极管的实际可用性。

【技术领域】

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种阵列基板及其制作方法、包括该阵列基板的显示面板和包括该显示面板的指纹识别显示装置。

【背景技术】

随着移动显示产品的普及，信息安全备受人们的关注。指纹是人体与生俱来独一无二并可与他人相区别的不变特征，它由指端皮肤表面上的一系列脊和谷组成，这些脊和谷的组成细节通常包括脊的分叉、脊的末端、拱形、帐篷式的拱形、左旋、右旋、螺旋或双旋等细节，这些细节决定了指纹图案的唯一性。由于指纹具有唯一性、难以复制性、安全性等优点，近年来指纹识别技术被广泛应用于移动显示产品中，作为一种身份认证和访问控制的方式，使得移动显示产品的安全性和易操作性得到极大的提高。

光学指纹识别是利用光的折射和反射原理，将手指放在光线镜片上，通过光线正在手指表面纹谷和纹脊的反射差异，实现光感器件接收不同指纹信息差异化，形成指纹图像，工作原理比较简单，适合移动显示产品的全面屏化设计。

现有的光学指纹识别技术一般是采用光电二极管作为感光器件。现有技术中，基于LTPS(Low Temperature Poly-silicon，低温多晶硅)制程制作的光电二极管，直接利用LTPS制程制作的光电二极管的漏流对光的敏感性实现的感光器件中，其光敏特性直接决定于基于LTPS制程制作的光电二极管的设计。而由于基于LTPS制程制作的光电二极管中的多晶硅集成在LTPS制程中会由于其他制程而导致性能异常，从而限制其实际可用性。

【发明内容】

为了解决上述技术问题，本发明提供一种阵列基板及其制作方法、包括该阵列基板的显示面板和包括该显示面板的指纹识别显示装置。

第一方面，本发明实施例提供一种阵列基板，包括衬底基板和多个指纹识别单元，所述指纹识别单元包括位于所述衬底基板一侧的至少一个光电二极管，所述光电二极管包括第一电极、第一半导体层、第二半导体层和第二电极；所述第一半导体层为多晶硅，所述第二半导体层为非晶硅；所述第一电极与所述第一半导体层电连接；所述第二半导体层位于所述第一半导体层远离所述衬底基板的一侧并与所述第一半导体层直接接触，且所述第二半导体层与所述第一半导体层直接接触的接触面积为第一接触面积；所述第二电极位于所述第二半导体层远离所述衬底基板的一侧并与所述第二半导体层直接接触，且所述第二电极与所述第二半导体层直接接触的接触面积为第二接触面积；所述第二接触面积大于等于所述第一接触面积。

第二方面，本发明实施例提供一种阵列基板的制作方法，包括：在衬底基板一侧形成第一半导体层；在所述第一半导体层远离所述衬底基板的一侧沉积第一绝缘层，图案化所述第一绝缘层形成第一通孔和第三通孔；在所述第一绝缘层远离所述衬底基板的一侧形成第二半导体层和第一电极，其中，所述第二半导体层通过所述第一通孔和所述第一半导体层直接接触，所述第二半导体层与所述第一半导体层直接接触的接触面积为第一接触面积，所述第一电极通过所述第三通孔和所述第一半导体层电连接；在所述第二半导体层远离所述衬底基板的一侧沉积第一缓冲层，图案化所述第一缓冲层形成第二通孔；在所述第一缓冲层远离所述衬底基板的一侧形成第二电极，其中，所述第二电极通过所述第二通孔和所述第二半导体层直接接触，所述第二电极与所述第二半导体层直接接触的接触面积为第二接触面积，所述第二接触面积大于等于所述第一接触面积。

第三方面，本发明实施例提供一种显示面板，包括上述第一方面所提供的阵列基板。