[发明专利]一种碲镉汞芯片及其加工方法在审

专利信息
申请号: 201910536651.5 申请日: 2019-06-20
公开(公告)号: CN110310966A 公开(公告)日: 2019-10-08
发明(设计)人: 张轶;刘世光;李春领 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十一研究所
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 工业和信息化部电子专利中心 11010 代理人: 焉明涛
地址: 100015*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 碲镉汞芯片 第二表面 第一表面 碲镉汞 电路层 加工 红外焦平面 红外探测器 非均匀性 探测性能 电场 均匀性 响应率 占空比 注入区 探测器 探测 维修 检测
【权利要求书】:

1.一种碲镉汞芯片,其特征在于,包括:

碲镉汞层,所述碲镉汞层具有相对的第一表面和第二表面,所述第一表面设有P型电极,所述第二表面设有N型电极;

电路层,所述电路层与所述P型电极和所述N型电极均连接。

2.根据权利要求1所述的碲镉汞芯片,其特征在于,所述电路层邻近所述第二表面设置,所述P型电极通过引线与所述电路层连接。

3.根据权利要求1或2所述的碲镉汞芯片,其特征在于,所述电路层与所述碲镉汞层间隔设置,所述电路层与所述N型电极通过铟柱连接。

4.根据权利要求3所述的碲镉汞芯片,其特征在于,所述电路层与所述碲镉汞层之间设有填充层。

5.根据权利要求1所述的碲镉汞芯片,其特征在于,所述P型电极的外表面设有增透膜。

6.根据权利要求1所述的碲镉汞芯片,其特征在于,所述P型电极被构造为网格状。

7.根据权利要求1所述的碲镉汞芯片,其特征在于,所述第二表面设有钝化层,所述N型电极的一端与所述第二表面连接,所述N型电极的另一端穿出至所述钝化层的外表面。

8.一种碲镉汞芯片的加工方法,其特征在于,包括:

在碲镉汞层的第一表面设置P型电极,在碲镉汞层的第二表面设置N型电极;

在靠近所述第二表面的一侧设置电路层,并将所述P型电极通过引线与所述电路层连接,将所述N型电极通过铟柱与所述电路层连接;

在所述电路层与所述碲镉汞层之间填充填充层。

9.根据权利要求8所述的碲镉汞芯片的加工方法,其特征在于,所述在碲镉汞芯片的第一表面设置P型电极,包括:

应用离子溅射的方式在所述第一表面进行金属层沉积,以形成所述P型电极。

10.根据权利要求8或9所述的碲镉汞芯片的加工方法,其特征在于,还包括:

在所述P型电极的外表面蒸镀增透膜。

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