[发明专利]涂胶显影设备及系统

权利要求书

1.一种涂胶显影设备，其特征在于，所述涂胶显影设备包括片盒单元、增粘工艺单元、涂胶显影工艺单元、接口单元和热处理工艺单元，所述增粘工艺单元设置于所述片盒单元的一侧，所述涂胶显影工艺单元和所述热处理工艺单元均设置于所述增粘工艺单元和所述接口单元之间，所述涂胶显影工艺单元内设置有第一显影工艺机械手、第二显影工艺机械手以及涂胶工艺机械手，且所述第一显影工艺机械手、所述第二显影工艺机械手以及所述涂胶工艺机械手在所述涂胶显影单元内上下排列设置。

2.根据权利要求1所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述片盒单元包括片盒卸装料机械手以及片盒组，所述片盒卸装料机械手设置于所述片盒组与所述增粘工艺单元之间。

3.根据权利要求2所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述片盒组包括多个片盒。

4.根据权利要求2所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述增粘工艺单元包括增粘工艺塔、第一上下层输送机械手和热处理输送机械手，所述第一上下层输送机械手设置于所述增粘工艺塔的一侧，所述热处理输送机械手设置于所述增粘工艺塔的另一侧。

5.根据权利要求4所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述增粘工艺塔包括增粘模块和中转模块，所述中转模块包括上中转模块和下中转模块，所述上中转模块设置于所述增粘模块的上侧，所述下中转模块设置于所述增粘模块的下侧。

6.根据权利要求2所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述涂胶显影工艺单元还包括涂胶显影工艺塔，所述热处理工艺单元包括热处理工艺塔，所述第一显影工艺机械手、所述第二显影工艺机械手以及所述涂胶工艺机械手设置在所述涂胶显影工艺塔与所述热处理工艺塔之间。

7.根据权利要求6所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述热处理工艺塔包括阵列均匀分布的多个模块装载位，每个模块装载位中均设有加热模块或制冷模块。

8.根据权利要求6所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述涂胶显影工艺塔包括涂胶模块组和显影模块组，所述涂胶模块组设置于所述显影模块组的下侧。

9.根据权利要求8所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述涂胶模块组包括多个垂直分布的涂胶模块，所述涂胶模块包括胶臂、涂胶水平移动座、第一模块底座和多个涂胶腔室，所述涂胶腔室和涂胶水平移动座均设置于所述第一模块底座的上侧，所述胶臂与所述涂胶水平移动座滑动连接，所述胶臂与所述涂胶水平移动座垂直，且所述胶臂平行于所述涂胶腔室所在的平面。

10.根据权利要求9所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述涂胶腔室的数量为3，3个所述涂胶腔室沿所述涂胶水平移动座的移动方向依次设置。

11.根据权利要求8所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述显影模块组包括多个垂直分布的显影模块，所述显影模块包括显影水平移动座、第二模块底座、多个显影腔室和多个显影臂，所述显影腔室和所述显影水平移动座均设置于所述第二模块底座的上侧，所述显影臂与所述显影水平移动座滑动连接，所述显影臂与所述显影水平移动座垂直，且所述显影臂平行于所述显影腔室所在的平面。

12.根据权利要求11所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述显影腔室的数量为3，3个所述显影腔室沿所述显影水平移动座的移动方向依次设置，所述显影臂的数量为2，且2个所述显影臂平行。

13.一种涂胶显影系统，其特征在于，包括权利要求1-12任一项所述的涂胶显影设备以及光刻机，所述光刻机设置于所述接口单元的一侧。