[发明专利]干燥装置及干燥方法在审
| 申请号： | 201910547654.9 | 申请日： | 2019-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN110350110A | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 宋媛媛 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 冷凝板 抽气组件 托板 干燥装置 干燥腔 表面设置 干燥效果 污染薄膜 弧形面 弧面 溶剂 连通 外部 保证 | ||
1.一种干燥装置，其特征在于，包括：
箱体，所述箱体内设置有干燥腔；
冷凝板，所述冷凝板设置在所述干燥腔内，所述冷凝板的表面为弧形面；
第一抽气组件，所述第一抽气组件设置在所述冷凝板的顶部，并连通到所述箱体的外部；
托板，所述托板设置在所述干燥腔内，所述托板设置在所述冷凝板下，且所述托板的长度小于所述冷凝板的长度，所述托板用于支撑基板；以及
多个第二抽气组件，所述第二抽气组件设置在所述箱体的底部。
2.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，还包括导流槽，所述导流槽设置在所述冷凝板上。
3.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述冷凝板包括调节机构，所述冷凝板沿着所述调节机构移动。
4.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述冷凝板内设置有冷却介质，所述冷却介质包括冷却水、冷却液或冷却气中的一种或其组合。
5.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述冷凝板的所述弧形面的弧度为0.01弧度～0.2弧度。
6.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，还包括顶针，所述顶针设置在所述托板上。
7.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，还包括调节阀，所述调节阀设置在所述第一抽气组件和所述第二抽气组件内。
8.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述第二抽气组件设置在所述箱体的所述底部的边缘，所述第二抽气组件内的所述调节阀的气体流速相同，所述第二抽气组件的数量至少为4个。
9.根据权利要求1所述干燥装置，其特征在于，所述箱体的长度为1米～2米、所述箱体的宽度为1米～2米、所述箱体的高度为0.2米～0.5米。
10.一种干燥方法，其特征在于，包括如下步骤：
S100：调整冷凝板和托板之间的距离，并调整干燥腔内的温度；
S101：将基板放入到干燥腔内，调整冷凝板与托板之间的距离，并保持干燥腔处于真空状态；
S102：打开第一抽气组件和第二抽气组件，同时通入干燥气体，进行干燥。
S103：排出箱体内的所述干燥气体，完成干燥。
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