[发明专利]干燥装置及干燥方法

说明书

本揭示提供一种干燥装置，包括：箱体、冷凝板、第一抽气组件、托板以及第二抽气组件，箱体内设置有干燥腔，冷凝板设置在所述干燥腔内，冷凝板的表面设置为弧形面，第一抽气组件设置在冷凝板的顶部，并连通到箱体的外部，托板设置在冷凝板下，且托板的长度小于冷凝板的长度，第二抽气组件设置在箱体的底部上，干燥时，多余的溶剂聚集在冷凝板上并沿着弧面流入冷凝板的四周端部，从而避免了污染薄膜，保证干燥效果。

技术领域

本揭示涉及显示制造技术领域，尤其涉及一种干燥装置及干燥方法。

背景技术

有机电致发光显示器件(Organic Light-Emitting Device，OLED)被广泛使用在各个领域，在OLED的生产制造中，通常会采用喷墨打印等方法形成有机功能层薄膜。

喷墨打印是利用多个喷嘴将功能材料墨水滴入预定的像素区域，之后通过干燥工艺去除多余的溶剂最终获得所需的薄膜。而这一去除溶剂形成干燥薄膜的工艺过程决定了形成薄膜的形貌的均一性。对于光电显示器而言，干燥后形成的薄膜的形貌均一性对显示器件的寿命和显示效果有较大的影响。现有的干燥工艺及干燥装置中，在进行干燥时，将薄膜放置于较低温度的真空干燥装置内，然后通过单一的抽真空的方式带走薄膜上的多余溶剂，但是，通过单一的抽真空的干燥方式无法将溶剂彻底的抽走，薄膜上还会残留许多溶剂，并且，在干燥装置的底部上还会有溶剂凝聚，干燥过程中，这些凝聚的液滴滴落到薄膜上，污染显示器件，干燥效果不理想。

综上所述，现有的OLED显示面板在喷墨打印工艺的干燥工艺中，薄膜上的多余溶剂无法被彻底干燥，同时，在干燥过程中，还会有液滴滴落在薄膜上，干燥完成后，薄膜的形貌不均一，影响显示面板的显示效果。

发明内容

本揭示提供一种干燥装置及干燥方法，以解决现有喷墨打印工艺过程中的干燥装置无法彻底去除薄膜上多余的溶剂，干燥效果不理想，干燥后，薄膜的形貌不均一等问题。

为解决上述技术问题，本揭示实施例提供的技术方案如下：

根据本揭示实施例的第一方面，提供了一种干燥装置，包括：

箱体，所述箱体内设置有干燥腔；

冷凝板，所述冷凝板设置在所述干燥腔内，所述冷凝板的表面设置为弧形面；

第一抽气组件，所述第一抽气组件设置在所述冷凝板的顶部，并连通到所述箱体的外部；

托板，所述托板设置在所述干燥腔内，所述托板设置在所述冷凝板下，且所述托板的长度小于所述冷凝板的长度，所述托板用以支撑基板；以及

第二抽气组件，所述第二抽气组件设置在所述箱体的底部上。

根据本揭示一实施例，所述干燥装置还包括导流槽，所述导流槽设置在所述冷凝板上。

根据本揭示一实施例，所述冷凝板包括调节机构，所述冷凝板沿着所述调节机构移动。

根据本揭示一实施例，所述冷凝板内设置有冷却介质，所述冷却介质为冷却水、冷却液或冷却气中的一种或其组合。

根据本揭示一实施例，所述冷凝板的弧面的弧度为0.01弧度～0.2弧度。

根据本揭示一实施例，还包括顶针，所述顶针设置在所述托盘上。

根据本揭示一实施例，还包括调节阀，所述调节阀设置在所述第一抽气组件和所述第二抽气组件内。

根据本揭示一实施例，所述第二抽气组件设置在所述箱体的所述底部的边缘，所述第二抽气组件内的所述调节阀的气体流速相同，所述第二抽气组件的数量为至少4个。

根据本揭示一实施例，所述箱体的长度为1米～2米、宽度为1米～2米、高度为0.2米～0.5米。