[发明专利]干涉调制器及红外光谱仪有效
申请号: | 201910550190.7 | 申请日: | 2019-06-24 |
公开(公告)号: | CN110319934B | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
发明(设计)人: | 敖小强;石磊;张廷邦;郜武 | 申请(专利权)人: | 北京雪迪龙科技股份有限公司 |
主分类号: | G01J3/45 | 分类号: | G01J3/45;G01J3/02;G01N21/35;G01N21/01 |
代理公司: | 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446 | 代理人: | 段梦凡;张羽 |
地址: | 102206 北京市昌*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 干涉 调制器 红外 光谱仪 | ||
1.一种干涉调制器,其特征在于,包括本体、分束器、第一平面镜、第二平面镜和动镜扫描机构;
所述本体包括上固定板、支撑块和下固定板,所述支撑块位于所述上固定板和下固定板之间,固定连接所述上固定板和下固定板,所述支撑块上设有分束器安装孔,所述上固定板和下固定板的宽度均大于支撑块的宽度,所述上固定板、支撑块和下固定板一体成型;
所述分束器安装在所述分束器安装孔内;
所述第一平面镜和第二平面镜固定在所述本体的外侧壁上,所述第一平面镜和第二平面镜分别位于所述分束器的两侧,用于反射光束;
所述动镜扫描机构包括摆动臂、转轴、第一角镜、第二角镜和驱动装置,所述摆动臂通过所述转轴安装在所述本体的外侧壁上,所述第一角镜和第二角镜固定在所述摆动臂上且分布在所述分束器的两侧,所述第一角镜折返所述第一平面镜射出的光束,所述第二角镜折返所述第二平面镜射出的光束,所述驱动装置连接所述摆动臂。
2.根据权利要求1所述干涉调制器,其特征在于,所述第一平面镜包括第一反射镜和第一镜座,所述第一反射镜和第一镜座一体成型。
3.根据权利要求2所述干涉调制器,其特征在于,所述第一反射镜与所述第一镜座之间设有隔离槽。
4.根据权利要求1所述干涉调制器,其特征在于,所述第二平面镜包括第二反射镜和第二镜座,所述第二反射镜和第二镜座一体成型。
5.根据权利要求4所述干涉调制器,其特征在于,所述第二反射镜与第二镜座之间设有隔离槽。
6.根据权利要求5所述干涉调制器,其特征在于,所述第二平面镜还包括固定座,所述第二镜座与所述固定座通过弹簧连接,微调螺钉通过螺纹固定在所述固定座上,所述微调螺钉的端头紧贴所述第二镜座。
7.根据权利要求1所述干涉调制器,其特征在于,所述分束器通过压片固定在所述分束器安装孔内,所述压片与所述支撑块连接,所述压片的压臂压紧所述分束器。
8.根据权利要求7所述干涉调制器,其特征在于,所述分束器安装孔的底面向上延伸出与所述压臂相对的凸起,所述凸起支撑所述分束器。
9.根据权利要求1所述干涉调制器,其特征在于,所述本体的外侧壁上设有V型槽,所述动镜扫描机构的转轴通过弹片固定在所述V型槽内。
10.一种红外光谱仪,其特征在于,包括权利要求1~9任一所述干涉调制器。
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