[发明专利]干涉调制器及红外光谱仪有效
申请号: | 201910550190.7 | 申请日: | 2019-06-24 |
公开(公告)号: | CN110319934B | 公开(公告)日: | 2022-02-01 |
发明(设计)人: | 敖小强;石磊;张廷邦;郜武 | 申请(专利权)人: | 北京雪迪龙科技股份有限公司 |
主分类号: | G01J3/45 | 分类号: | G01J3/45;G01J3/02;G01N21/35;G01N21/01 |
代理公司: | 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446 | 代理人: | 段梦凡;张羽 |
地址: | 102206 北京市昌*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 干涉 调制器 红外 光谱仪 | ||
本发明公开一种干涉调制器及红外光谱仪。干涉调制器包括本体、分束器、第一平面镜、第二平面镜和动镜扫描机构;本体包括上固定板、支撑块和下固定板,支撑块位于上固定板和下固定板之间,固定连接上固定板和下固定板,支撑块上设有分束器安装孔;分束器安装在分束器安装孔内;第一平面镜和第二平面镜固定在本体的外侧壁上,第一平面镜和第二平面镜分别位于分束器的两侧,用于反射光束;动镜扫描机构的第一角镜折返第一平面镜射出的光束,第二角镜折返第二平面镜射出的光束。本发明的干涉调制器体积小,结构简单,稳定性高。
技术领域
本发明属于检测设备领域,尤其涉及一种干涉调制器及红外光谱仪。
背景技术
傅立叶红外光谱仪利用红外干涉信号与红外光谱图之间的变换关系,通过对红外干涉信号的采集,来获取物质红外光谱的信息,从而定性或定量的对物质成分与含量进行分析。光学干涉调制器是傅立叶红外光谱仪的心脏部件,其内部器件的准直偏差会极大的影响干涉信号的调制效率,从而影响仪器的性能。
目前研究对仪器性能的影响因素时,分析的因素仅限于光学器件的影响,在考虑这些因素之后,仅能够完成仪器的原理样机的。但是,这些分析研究忽视了仪器作为一个实际的产品,需要考虑长期稳定性的影响因素与产品工程化面临的实际问题。
在目前的商业化实验室型红外光谱仪中,生产厂商往往采用铜或铸铁等热容量较大、比重较大的材料,增加仪器的热稳定性与抗震动能力。这样的设计会导致仪器体积与重量很大,使仪器不便移动,不利于工业现场的使用;而且往往采用精密铸造的方式,使生产成本较高。这极大的限制了傅里叶红外光谱仪在工业上的应用。
发明内容
为了解决上述问题,本发明提出一种干涉调制器及红外光谱仪,通过紧凑的机械连接,使得仪器体积小、重量轻、稳定性高。
本发明的实施例提供一种干涉调制器,包括本体、分束器、第一平面镜、第二平面镜和动镜扫描机构;
所述本体包括上固定板、支撑块和下固定板,所述支撑块位于所述上固定板和下固定板之间,固定连接所述上固定板和下固定板,所述支撑块上设有分束器安装孔;
所述分束器安装在所述分束器安装孔内;
所述第一平面镜和第二平面镜固定在所述本体的外侧壁上,所述第一平面镜和第二平面镜分别位于所述分束器的两侧,用于反射光束;
所述动镜扫描机构包括摆动臂、转轴、第一角镜、第二角镜和驱动装置,所述摆动臂通过所述转轴安装在所述本体的外侧壁上,所述第一角镜和第二角镜固定在所述摆动臂上且分布在所述分束器的两侧,所述第一角镜折返所述第一平面镜射出的光束,所述第二角镜折返所述第二平面镜射出的光束,所述驱动装置连接所述摆动臂。
如本发明的一实施方式,所述第一平面镜包括第一反射镜和第一镜座,所述第一反射镜和第一镜座一体成型。
如本发明的一实施方式,所述第一反射镜与所述第一镜座之间设有隔离槽。
如本发明的一实施方式,所述第二平面镜包括第二反射镜和第二镜座,所述第二反射镜和第二镜座一体成型。
如本发明的一实施方式,所述第二反射镜与第二镜座之间设有隔离槽。
如本发明的一实施方式,所述第二平面镜还包括固定座,所述第二镜座与所述固定座通过弹簧连接,微调螺钉通过螺纹固定在所述固定座上,所述微调螺钉的端头紧贴所述第二镜座。
如本发明的一实施方式,所述分束器通过压片固定在所述分束器安装孔内,所述压片与所述支撑块连接,所述压片的压臂压紧所述分束器。
如本发明的一实施方式,所述分束器安装孔的底面向上延伸出与所述压臂相对的凸起,所述凸起支撑所述分束器。
如本发明的一实施方式,所述本体的外侧壁上设有V型槽,所述动镜扫描机构的转轴通过弹片固定在所述V型槽内。
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