[发明专利]分子泵监控系统及分子泵监控方法

权利要求书

1.一种分子泵监控系统，其特征在于，包括：

分子泵；

控制器，所述控制器用于获取所述分子泵的扰动信息；

信号处理模块，与所述控制器连接，用于处理所述控制器获取的扰动信息，对所述分子泵进行实时监控和分析，所述信号处理模块还包括数据分析显示单元和服务器，所述信号处理模块用于分析显示所述服务器内存储的扰动信息及其随时间的变化情况，并根据半导体机台的产品良率随时间的变化信息和所述分子泵随时间变化的扰动信息，分析扰动信息与产品良率之间的对应关系，确定产品良率的预设值，根据所述预设值设定分子泵的维护条件的扰动信息的上下限，其中，

所述扰动信息包括：所述分子泵的转子的上半部分在X轴、Y轴方向上发生偏移的距离、所述转子的下半部分在X轴、Y轴方向上发生偏移的距离，以及所述转子在Z轴方向上发生偏移的距离，所述X轴、Y轴为水平面内相互垂直的两个方向，Z轴垂直于所述X轴和Y轴。

2.根据权利要求1所述的分子泵监控系统，其特征在于，所述信号处理模块包括讯号转换单元，所述讯号转换单元连接至所述控制器，用于将所述扰动信息进行讯号转换。

3.根据权利要求2所述的分子泵监控系统，其特征在于，所述信号处理模块还包括：转发器，所述转发器连接至所述讯号转换单元和所述服务器，用于转发所述讯号转换单元生成的转换后的扰动信息至所述服务器。

4.根据权利要求3所述的分子泵监控系统，其特征在于，所述数据分析显示单元连接至所述服务器。

5.根据权利要求3所述的分子泵监控系统，其特征在于，所述信号处理模块还包括：预警单元，所述预警单元连接所述数据分析显示模块，当所述扰动信息超过所述数据分析显示模块中设定的上下限时发出预警信息。

6.一种采用权利要求1至5中任一项所述的分子泵监控系统的分子泵监控方法，其特征在于，包括：

通过控制器获取分子泵的扰动信息，所述扰动信息包括：所述分子泵的转子的上半部分在X轴、Y轴方向上发生偏移的距离、所述转子的下半部分在X轴、Y轴方向上发生偏移的距离，以及所述转子在Z轴方向上发生偏移的距离，所述X轴、Y轴为水平面内相互垂直的两个方向，Z轴垂直于所述X轴和Y轴；

处理所述控制器获取的所述扰动信息，对所述分子泵进行实时监控和分析，分析显示所述服务器内存储的扰动信息及其随时间的变化情况；

获取所述半导体机台进行半导体处理工艺时的产品良率及产品良率随时间的变化信息；

将所述产品良率与所述扰动信息进行比较，分析扰动信息与产品良率之间的对应关系，确定产品良率的预设值，根据所述产品良率低于预设值时对应的扰动信息设定所述半导体处理工艺对应的分子泵的维护条件的扰动信息的上下限。

7.根据权利要求6所述的分子泵监控方法，其特征在于，还包括：

将所述扰动信息进行讯号转换；将讯号转换后的扰动信息转发至服务器进行存储；分析显示所述服务器内存储的扰动信息。

8.根据权利要求7所述的分子泵监控方法，其特征在于，还包括：

当所述扰动信息超过设定的上下限时发出预警信息。