[发明专利]分子泵监控系统及分子泵监控方法

说明书

一种分子泵监控系统及一种分子泵监控方法，所述分子泵监控系统包括：分子泵；控制器，所述控制器用于获取分子泵的扰动信息；信号处理模块，与所述控制器连接，用于处理所述控制器获取的扰动信息，对所述分子泵进行实时监控和分析。所述分子泵监控系统能够实现对分子泵的实时智能监控。

技术领域

本发明涉及半导体设备领域，尤其涉及一种分子泵监控系统及分子泵监控方法。

背景技术

分子泵被广泛应用与半导体机台中，用于对机台进行抽空处理。在机台对晶圆进行处理的过程中，会生成聚合物，聚合物也会在分子泵内部沉积，沉积量较大的情况下，会造成分子泵发生碎泵。现有技术中，通常是根据经验或者厂家设定的固定的维护条件，定期对分子泵进行维护和更换。

随着集成电路制造工艺进入更窄的线宽，对于工艺气体的流量和半导体材料有了新的要求。

以刻蚀工艺为例，刻蚀生成的聚合物数量较从前更多，挥发性更差，造成分子泵内部聚合物沉积更快，无法用之前的经验来判断分子泵的寿命及更换周期，容易在未知情况下发生机台异常造成晶圆及设备损伤。

因此，如何实现对分子泵的智能监控，避免分子泵异常是目前亟待解决的问题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，提供一种分子泵监控系统及分子泵监控方法，实现对分子泵的实时智能监控。

为解决上述问题，本发明的技术方案提供一种分子泵监控系统，包括：分子泵；控制器，所述控制器用于获取所述分子泵的扰动信息；信号处理模块，与所述控制器连接，用于处理所述控制器获取的扰动信息，对所述分子泵进行实时监控和分析。

可选的，所述信号处理模块包括讯号转换单元，所述讯号转换单元连接至所述控制器，用于将所述扰动信息进行讯号转换。

可选的，所述信号处理模块还包括：转发器和服务器，所述转发器连接至所述讯号转换单元和所述服务器，用于转发所述讯号转换单元生成的转换后的扰动信息至所述服务器。

可选的，所述信号处理模块还包括：数据分析显示单元，连接至所述服务器，用于分析显示所述服务器内存储的扰动信息。

可选的，所述信号处理模块还包括：预警单元，所述预警单元连接所述数据分析显示模块，当所述扰动信息超过所述数据分析显示模块中设定的上下限时发出预警信息。

可选的，所述扰动信息包括：所述分子泵的转子的上半部分在X轴、Y轴方向上发生偏移的距离、所述转子的上半部分在X轴、Y轴方向上发生偏移的距离，以及所述转子在Z轴方向上发生偏移的距离，所述X轴、Y轴为水平面内相互垂直的两个方向，Z轴垂直于所述X轴和Y轴。

为解决上述问题，本发明的具体实施方式还提供一种分子泵监控方法，包括：通过控制器获取分子泵的扰动信息；处理所述控制器获取的所述扰动信息，对所述分子泵进行实时监控和分析。

可选的，还包括：将所述扰动信息进行讯号转换；将讯号转换后的扰动信息转发至服务器进行存储；分析显示所述服务器内存储的扰动信息。

可选的，还包括：当所述扰动信息超过设定的上下限时发出预警信息。

可选的，还包括：获取所述半导体机台进行所述特定的半导体处理工艺时的产品良率；将所述产品良率与所述扰动信息进行比较，根据所述产品良率低于预设值时对应的扰动信息设定所述半导体处理工艺对应的分子泵的维护条件的扰动信息的上下限。

本发明的分子泵监控系统，能够对分子泵状态进行实时监控，并且结合产品良率变化，能够发现分子泵扰动信息与良率之间的对应关系，从而在良率发生明显下降之前，及时更换分子泵，从而可以降低人员工作量，透过监控系统，可以有效预知维护时间，并增加机台利用率，同时也可以优化产品的良率。

附图说明