[发明专利]一种多层结构及其制备方法有效
申请号: | 201910551170.1 | 申请日: | 2019-06-24 |
公开(公告)号: | CN110158060B | 公开(公告)日: | 2021-07-27 |
发明(设计)人: | 杨诚;崔元正 | 申请(专利权)人: | 清华大学深圳研究生院 |
主分类号: | C23C16/515 | 分类号: | C23C16/515;C23C16/455;C23C16/52 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人: | 刘莉 |
地址: | 518055 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多层 结构 及其 制备 方法 | ||
本发明公开了一种多层结构以及制备方法,所述多层结构包括基材、在所述基材上形成的过渡层以及在过渡层上形成的膜层,所述制备方法包括如下步骤:S1、基材的预处理:将基材通过等离子体放电进行清洁和活化;S2、过渡层的制备:通过等离子体放电在基材表面沉积一层过渡层;S3、膜层的制备:通过等离子体放电在过渡层上沉积膜层:S4、后处理:使膜层固化。本发明可以增强膜层和基材的结合力,并提高膜层的机械强度。
技术领域
本发明属于等离子体化学气相沉积技术领域,具体涉及一种多层结构及其制备方法。
背景技术
模具作为材料成型加工中的重要工艺装备,是工业生产的基础,利用模具所生产的产品的价值往往是其自身价值的很多倍。利用模具能够批量生产运用于机械、电子、汽车、信息、航空、航天、轻工、军工、交通、建材、医疗、生物、能源等行业具有重要价值的高质量零部件。60%-80%的产品都需要依靠模具加工成型。模具的工艺以及科技水平很大程度决定产品的质量、生产的效益以及新产品的开发,已成为衡量制造业水平高低的重要标志。
目前,模具普遍具有较高的关联性,而且涉及面较广。随着制造行业的飞速发展,与之相对应的脱模剂材料也被广泛研究来满足模具行业的市场需求。脱模剂是一种在模具与模制品间起到隔离作用的添加剂,能够使模制品易于从模具中分离出来。脱模剂的使用可以减少模制品在分离过程中的机械损伤,从而改善模制品的外观品质以及改善模具的使用寿命;脱模剂在使用的过程中要求不易分解、与模具有着良好的结合力,且不易粘附到模制品表面。
市场中常见的脱模剂主要分为有机氟系脱模剂、硅系脱模剂和蜡(油)系脱模剂。硅系脱模剂也有着较好的脱模性能,但往往需要反复涂在模具上;蜡(油)系脱模剂价格低廉,但是往往会对模具造成污染。有机氟系脱模剂性能较为优异,且对模具污染较小,其不仅具有氟化物的特点,能够降低材料的表面能,不易被其他物质浸润与吸附,也不易与其他物质融合,使其具有较好的脱模效果,但其较高的价格,在使用中具有一定的局限性。
等离子体化学气相沉积,是一种利用等离子体激活反应气体,使其在基材表面进行化学沉积的技术。利用该方法制备的膜层较为均匀,成分可以精确控制,在不规则的基材也能较好的沉积,制备条件较为温和。但是,膜层的结合力是影响膜层质量的重要指标,直接影响模具的使用寿命。不同的基材与疏水功能层的结合能力的差异巨大。
综上所述,开发一种新的方法用于对模具的表面进行修饰,使其具有较低的表面能易于与模制品分离,并且膜层与基材具有较好的结合力是很有必要的。
发明内容
为了弥补现有技术的不足,本发明提供一种多层结构以及制备方法,在不影响脱模性能的前提下,通过在膜层和基材之间结合一层过渡层,提高了膜层与基材的结合力从而也使得膜层更易于沉积在基材上,并提高了膜层的机械强度、膜层的厚度均一性以及致密性,使其能够增强使用寿命。
为了达到上述目的,本发明采用了如下的技术方案:
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的