[发明专利]一种多层结构及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201910551170.1 申请日: 2019-06-24
公开(公告)号: CN110158060B 公开(公告)日: 2021-07-27
发明(设计)人: 杨诚;崔元正 申请(专利权)人: 清华大学深圳研究生院
主分类号: C23C16/515 分类号: C23C16/515;C23C16/455;C23C16/52
代理公司: 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 代理人: 刘莉
地址: 518055 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 多层 结构 及其 制备 方法
【说明书】:

发明公开了一种多层结构以及制备方法,所述多层结构包括基材、在所述基材上形成的过渡层以及在过渡层上形成的膜层,所述制备方法包括如下步骤:S1、基材的预处理:将基材通过等离子体放电进行清洁和活化;S2、过渡层的制备:通过等离子体放电在基材表面沉积一层过渡层;S3、膜层的制备:通过等离子体放电在过渡层上沉积膜层:S4、后处理:使膜层固化。本发明可以增强膜层和基材的结合力,并提高膜层的机械强度。

技术领域

本发明属于等离子体化学气相沉积技术领域,具体涉及一种多层结构及其制备方法。

背景技术

模具作为材料成型加工中的重要工艺装备,是工业生产的基础,利用模具所生产的产品的价值往往是其自身价值的很多倍。利用模具能够批量生产运用于机械、电子、汽车、信息、航空、航天、轻工、军工、交通、建材、医疗、生物、能源等行业具有重要价值的高质量零部件。60%-80%的产品都需要依靠模具加工成型。模具的工艺以及科技水平很大程度决定产品的质量、生产的效益以及新产品的开发,已成为衡量制造业水平高低的重要标志。

目前,模具普遍具有较高的关联性,而且涉及面较广。随着制造行业的飞速发展,与之相对应的脱模剂材料也被广泛研究来满足模具行业的市场需求。脱模剂是一种在模具与模制品间起到隔离作用的添加剂,能够使模制品易于从模具中分离出来。脱模剂的使用可以减少模制品在分离过程中的机械损伤,从而改善模制品的外观品质以及改善模具的使用寿命;脱模剂在使用的过程中要求不易分解、与模具有着良好的结合力,且不易粘附到模制品表面。

市场中常见的脱模剂主要分为有机氟系脱模剂、硅系脱模剂和蜡(油)系脱模剂。硅系脱模剂也有着较好的脱模性能,但往往需要反复涂在模具上;蜡(油)系脱模剂价格低廉,但是往往会对模具造成污染。有机氟系脱模剂性能较为优异,且对模具污染较小,其不仅具有氟化物的特点,能够降低材料的表面能,不易被其他物质浸润与吸附,也不易与其他物质融合,使其具有较好的脱模效果,但其较高的价格,在使用中具有一定的局限性。

等离子体化学气相沉积,是一种利用等离子体激活反应气体,使其在基材表面进行化学沉积的技术。利用该方法制备的膜层较为均匀,成分可以精确控制,在不规则的基材也能较好的沉积,制备条件较为温和。但是,膜层的结合力是影响膜层质量的重要指标,直接影响模具的使用寿命。不同的基材与疏水功能层的结合能力的差异巨大。

综上所述,开发一种新的方法用于对模具的表面进行修饰,使其具有较低的表面能易于与模制品分离,并且膜层与基材具有较好的结合力是很有必要的。

发明内容

为了弥补现有技术的不足,本发明提供一种多层结构以及制备方法,在不影响脱模性能的前提下,通过在膜层和基材之间结合一层过渡层,提高了膜层与基材的结合力从而也使得膜层更易于沉积在基材上,并提高了膜层的机械强度、膜层的厚度均一性以及致密性,使其能够增强使用寿命。

为了达到上述目的,本发明采用了如下的技术方案:

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