[发明专利]一种多晶硅生产中的蒸汽循环利用系统及方法

权利要求书

1.一种多晶硅生产中的蒸汽循环利用系统，其特征在于，包括:过热饱和蒸汽源、减温减压器、饱和蒸汽利用装置、蒸汽冷凝液贮罐、闪蒸罐和高温水泵；

所述减温减压器包括：中压减温减压器和低压减温减压器；

所述中压减温减压器分别与所述过热饱和蒸汽源和所述蒸汽冷凝液贮罐连接，用于接收过热饱和蒸汽，并进行减温减压，以得到中压饱和蒸汽；

所述低压减温减压器分别与所述中压减温减压器和所述蒸汽冷凝液贮罐连接，用于接收中压饱和蒸汽，并进行减温减压，以得到低压饱和蒸汽；

所述饱和蒸汽利用装置包括：中压饱和蒸汽利用装置和低压饱和蒸汽利用装置；

所述中压饱和蒸汽利用装置与所述中压减温减压器连接，用于接收中压饱和蒸汽，并进行利用，产生中压蒸汽冷凝液；

所述低压饱和蒸汽利用装置与所述低压减温减压器连接，用于接收低压饱和蒸汽，并进行利用，产生低压蒸汽冷凝液；

所述闪蒸罐与所述中压饱和蒸汽利用装置连接，用于接收所述中压饱和蒸汽利用装置输出的中压蒸汽冷凝液，闪蒸后输出低压蒸汽和冷凝液；

所述蒸汽冷凝液贮罐与所述闪蒸罐连接，用于接收所述闪蒸罐中输出的冷凝液；

所述蒸汽冷凝液贮罐与所述低压饱和蒸汽利用装置连接，用于接收所述低压饱和蒸汽利用装置输出的低压蒸汽冷凝液；

所述高温水泵与所述蒸汽冷凝液贮罐连接，用于将所述蒸汽冷凝液贮罐中的冷凝液输送至所述减温减压器，以与所述减温减压器中的过热饱和蒸汽混合减温，得到中压饱和蒸汽和\或低压饱和蒸汽。

2.根据权利要求1所述的多晶硅生产中的蒸汽循环利用系统，其特征在于，

所述中压饱和蒸汽利用装置与所述闪蒸罐之间设置有减压调节装置，用于调节进入所述闪蒸罐的冷凝液的压力和流量。

3.根据权利要求2所述的多晶硅生产中的蒸汽循环利用系统，其特征在于，

所述闪蒸罐的上端设置有蒸汽出口；用于所述闪蒸罐内的低压蒸汽输出；

所述蒸汽冷凝液贮罐上设置有补水口，用于补充脱盐水。

4.根据权利要求3所述的多晶硅生产中的蒸汽循环利用系统，其特征在于，

所述蒸汽冷凝液贮罐的底部设置有排水口；所述排水口上设置有调节阀，用于控制所述排水口的通断；所述调节阀通过所述蒸汽冷凝液贮罐的液位控制，以在所述蒸汽冷凝液贮罐的液位高于设定范围时，打开所述调节阀，低于设定范围时，关闭所述调节阀；

所述蒸汽冷凝液贮罐底部设置有PH在线监测装置，用于监测所述蒸汽冷凝液贮罐内冷凝液的PH值。

5.根据权利要求4所述的多晶硅生产中的蒸汽循环利用系统，其特征在于，

所述补水口上设置有补水管；所述闪蒸罐底部设置有放水口。

6.根据权利要求5所述的多晶硅生产中的蒸汽循环利用系统，其特征在于，

所述中压饱和蒸汽利用装置为冷氢化再沸器、四氯化硅预热器和氢气加热器中的一个或多个；

所述低压饱和蒸汽利用装置为精馏塔或氯碱换热器中的至少一个。

7.根据权利要求6所述的多晶硅生产中的蒸汽循环利用系统，其特征在于，

所述低压饱和蒸汽利用装置与所述闪蒸罐的所述蒸汽出口连接，用于接收低压蒸汽，并进行利用，产生低压蒸汽冷凝液。

8.一种多晶硅生产中的蒸汽循环利用方法，其特征在于，包括如下步骤：

将过热饱和蒸汽进行减温减压，以得到中压饱和蒸汽和低压饱和蒸汽；

对减温减压后的中压饱和蒸汽和低压饱和蒸汽进行利用，产生中压蒸汽冷凝液和低压冷凝液；

对中压蒸汽冷凝液进行闪蒸处理，产生低压蒸汽和低压冷凝液；

将低压冷凝液与过热饱和蒸汽混合减温减压，再得到中压饱和蒸汽和低压饱和蒸汽。

9.根据权利要求8所述的多晶硅生产中的蒸汽循环利用方法，其特征在于，

所述蒸汽冷凝液的温度为100～150℃。

10.根据权利要求9所述的多晶硅生产中的蒸汽循环利用方法，其特征在于，

所述的多晶硅生产中的蒸汽循环利用方法通过权利要求1-7任一项所述的多晶硅生产中的蒸汽循环利用系统完成作业。