[发明专利]一种多晶硅生产中的蒸汽循环利用系统及方法

说明书

本发明涉及多晶硅生产技术领域，尤其涉及一种多晶硅生产中的蒸汽循环利用系统，包括:过热饱和蒸汽源；减温减压器与过热饱和蒸汽源连接，对过热饱和蒸汽进行减温减压，以得到中压饱和蒸汽和\或低压饱和蒸汽；饱和蒸汽利用装置与减温减压器连接，用于接收中压饱和蒸汽和\或低压饱和蒸汽，产生蒸汽冷凝液；闪蒸罐与饱和蒸汽利用装置连接，用于接收中压冷凝液，闪蒸后输出低压蒸汽和低压冷凝液；蒸汽冷凝液贮罐分别与闪蒸罐和低压饱和蒸汽利用装置连接，用于接收低压冷凝液；高温水泵与蒸汽冷凝液贮罐连接，用于将蒸汽冷凝液贮罐中的冷凝液输送至减温减压器，以与减温减压器中的过热饱和蒸汽混合减温，得到中压饱和蒸汽和\或低压饱和蒸汽。

技术领域

本发明涉及多晶硅生产技术领域，尤其涉及一种多晶硅生产中的蒸汽循环利用系统及方法。

背景技术

在多晶硅生产过程中，冷氢化及精馏车间有许多的反应设备和换热器，如：再沸器、四氯化硅预热器、氢气加热器及精馏塔等，在生产工艺中需要升温和降温，同时需要消耗大量的中压蒸汽和低压蒸汽。在利用中压或低压蒸汽进行加热的过程中，蒸汽遇冷产生大量的中压或低压冷凝液，中压冷凝液再经过闪蒸罐闪蒸出部分蒸汽后，剩余的约100～150度的大量冷凝液一般无法直接利用，需要进行进一步合理处置。目前的处理办法主要有：1.根据冷凝液产生量的多少直接外排或外排过程中通过自然降温后用作绿化水处理；2.冷凝液直接排入循环水池作为循环水使用或通过冷却塔冷却降温后排入循环水池作循环水使用。

由于冷凝液含有大量的余热，直接外排会造成热量浪费和水资源浪费；而且，冷凝液含钙镁等离子非常低，符合减温水的工艺指标要求。目前各企业蒸汽减温减压器使用的是35℃脱盐水降温，成本较高。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种发明多晶硅生产中的蒸汽循环利用系统及方法，主要目的在于实现蒸汽的循环利用，能够减少过热饱和蒸汽的使用量，节约了生产成本。

为达到上述目的，本发明主要提供如下技术方案：

一方面，本发明的实施例提供一种多晶硅生产中的蒸汽循环利用系统，包括:过热饱和蒸汽源、减温减压器、饱和蒸汽利用装置、蒸汽冷凝液贮罐、闪蒸罐和高温水泵；

所述减温减压器包括：中压减温减压器和低压减温减压器；

所述中压减温减压器分别与所述过热饱和蒸汽源和所述蒸汽冷凝液贮罐连接，用于接收过热饱和蒸汽，并进行减温减压，以得到中压饱和蒸汽；

所述低压减温减压器分别与所述中压减温减压器和所述蒸汽冷凝液贮罐连接，用于接收中压饱和蒸汽，并进行减温减压，以得到低压饱和蒸汽；

所述饱和蒸汽利用装置包括：中压饱和蒸汽利用装置和低压饱和蒸汽利用装置；

所述中压饱和蒸汽利用装置与所述中压减温减压器连接，用于接收中压饱和蒸汽，并进行利用，产生中压蒸汽冷凝液；

所述低压饱和蒸汽利用装置与所述低压减温减压器连接，用于接收低压饱和蒸汽，并进行利用，产生低压蒸汽冷凝液；

所述闪蒸罐与所述中压饱和蒸汽利用装置连接，用于接收所述中压饱和蒸汽利用装置输出的中压蒸汽冷凝液，闪蒸后输出低压蒸汽和冷凝液；

所述蒸汽冷凝液贮罐与所述闪蒸罐连接，用于接收所述闪蒸罐中输出的冷凝液；

所述蒸汽冷凝液贮罐与所述低压饱和蒸汽利用装置连接，用于接收所述低压饱和蒸汽利用装置输出的低压蒸汽冷凝液；

所述高温水泵与所述蒸汽冷凝液贮罐连接，用于将所述蒸汽冷凝液贮罐中的冷凝液输送至所述减温减压器，以与所述减温减压器中的过热饱和蒸汽混合减温，得到中压饱和蒸汽和\或低压饱和蒸汽。

进一步地，所述中压饱和蒸汽利用装置与所述闪蒸罐之间设置有减压调节装置，用于调节进入所述闪蒸罐的冷凝液的压力和流量。