[发明专利]半导体装置、其制造方法以及使用其的生物辨识设备

说明书

本发明提供了一种半导体装置、其制造方法以及使用其的生物辨识设备，该半导体装置包括一导电基板以及一封装结构。导电基板具有多个像素。封装结构设置于导电基板上，且封装结构包括至少一光准直单元。光准直单元包括一透明基板及一图案化遮光层。图案化遮光层设置于透明基板上。图案化遮光层具有对应于像素设置的多个孔洞。本发明能够避免或减少光准直单元倒塌，同时使半导体装置整体保有良好的准直效能。再者，能够降低导电基板产生翘曲的可能性，进而增加半导体装置的可靠度与一致性。此外，应用本发明的半导体装置的生物辨识设备的辨识能力能够有效提升。

技术领域

本发明实施例是有关于一种半导体装置，且特别有关于一种具有光准直(light-collimating)功能的半导体装置、其制造方法以及使用其的生物辨识设备。

背景技术

半导体装置可被使用于各种应用中。举例而言，半导体装置可被用来作为生物辨识设备(例如，指纹辨识设备、脸部辨识设备、虹膜辨识设备等的至少一部分)。生物辨识设备可由大量的光学元件组成。举例而言，上述光学元件可包括光准直器(collimator)。光准直器可用于准直(collimate)光线，以减少因光发散所导致的能量损失。因此，光准直器可被应用于生物辨识设备(例如，指纹辨识设备)中，以增加其辨识的效能。

然而，现有的光准直器及其形成方法并非在各方面皆令人满意。

发明内容

本发明实施例包括一种半导体装置。半导体装置包括一导电基板以及一封装结构。导电基板具有多个像素。封装结构设置于导电基板上，且封装结构包括至少一光准直单元。光准直单元包括一透明基板及一图案化遮光层。图案化遮光层设置于透明基板上。图案化遮光层具有对应于像素设置的多个孔洞。

本发明实施例包括一种半导体装置的制造方法。此制造方法包括将一遮光材料形成于一透明基板上。此制造方法更包括将遮光材料图案化以形成具有多个孔洞的一图案化遮光层。透明基板与图案化遮光层界定一光准直单元。此制造方法包括将光准直单元形成于一导电基板上。导电基板具有多个像素，且孔洞对应于像素设置。

本发明实施例包括一种生物辨识设备。生物辨识设备包括如前所述的半导体装置。生物辨识设备更包括一光源层以及一盖板。光源层设置于半导体装置上，盖板设置于光源层上。

本发明能够避免或减少光准直单元倒塌，同时使半导体装置整体保有良好的准直效能。再者，能够降低导电基板产生翘曲的可能性，进而增加半导体装置的可靠度与一致性。此外，应用本发明的半导体装置的生物辨识设备的辨识能力能够有效提升。

附图说明

以下将配合所附图式详述本发明实施例。应注意的是，各种特征部件并未按照比例绘制且仅用以说明例示。事实上，元件的尺寸可能经放大或缩小，以清楚地表现出本发明实施例的技术特征。

图1至图5为一系列的剖面图，其绘示出本发明一实施例的半导体装置的形成方法。

图6绘示出本发明一实施例的生物辨识设备的剖面图。

符号说明

100～半导体装置

10～透明基板

12～遮光材料

14～图案化遮光层

16～光准直单元

18～透明基板

20～图案化遮光层

22～光准直单元

24～透明基板

26～图案化遮光层

28～光准直单元