[发明专利]多工位双面移载装置及处理系统

权利要求书

1.一种多工位双面移载装置，用于处理工件，所述工件包括相对设置的第一待处理面及第二待处理面，其特征在于，所述移载装置包括移载工位组及机械手组，所述移载工位组至少包括入料工位、第一等待工位、第二等待工位及出料工位，所述入料工位用于输入工件，所述第一等待工位用于放置第一待处理面朝上的工件，所述第二等待工位用于放置第二待处理面朝上的工件，所述出料工位用于输出工件，所述机械手组包括至少两个机械手，所述机械手组用于工件的翻转及工件在多个工位之间的移动，且任一机械手的最大位移量为两个相邻工位。

2.根据权利要求1所述的多工位双面移载装置，其特征在于，所述机械手组包括翻转机械手或所述机械手组同时包括翻转机械手及平移机械手，当所述机械手组包括翻转机械手时，所述翻转机械手用于将工件翻转一预定角度，且所述翻转机械手用于将工件在多个工位之间平移，当所述机械手组同时包括翻转机械手及平移机械手时，所述翻转机械手至少用于将工件翻转一预定角度，所述平移机械手用于将工件在多个工位之间平移。

3.根据权利要求2所述的多工位双面移载装置，其特征在于，所述预定角度的范围为90～180度。

4.根据权利要求3所述的多工位双面移载装置，其特征在于，所述预定角度为90度或180度。

5.根据权利要求2所述的多工位双面移载装置，其特征在于，所述机械手组至少包括第一翻转机械手及第二翻转机械手，当所述第一待处理面处理完成后，所述第一翻转机械手固定所述第一待处理面并将所述工件朝向第二等待工位方向翻转90度，第二翻转机械手朝向所述第一等待工位方向翻转90度而面向第二待处理面，所述第二翻转机械手固定所述第二待处理面并向所述第二等待工位方向翻转90度，而后所述第二翻转机械手将工件置于第二等待工位。

6.根据权利要求5所述的多工位双面移载装置，其特征在于，所述第一翻转机械手还用于将工件由所述入料工位平移至所述第一等待工位，所述第二翻转机械手还用于将工件由第二等待工位平移至所述出料工位。

7.根据权利要求2所述的多工位双面移载装置，其特征在于，所述机械手组包括第一翻转机械手及若干平移机械手，当所述第一待处理面处理完成后，所述第一翻转机械手固定所述第一待处理面并将所述工件翻转180度而使得所述第二待处理面朝上，所述平移机械手固定所述第二待处理面并将所述工件移动至所述第二等待工位。

8.根据权利要求7所述的多工位双面移载装置，其特征在于，所述机械手组包括第一平移机械手及第二平移机械手，当所述第一翻转机械手在入料工位和第一等待工位之间平移时，所述第一平移机械手在第一等待工位和第二等待工位之间平移，所述第二平移机械手在第二等待工位和出料工位之间平移，当所述第一翻转机械手在第一等待工位和第二等待工位之间平移时，所述第一平移机械手在入料工位和第一等待工位之间平移，所述第二平移机械手在第二等待工位和出料工位之间平移。

9.根据权利要求7所述的多工位双面移载装置，其特征在于，所述机械手组包括第一平移机械手、第二平移机械手及第三平移机械手，所述第一平移机械手在入料工位和第一等待工位之间平移，所述第二平移机械手在第一等待工位和第二等待工位之间平移，所述第三平移机械手在第二等待工位及出料工位之间平移。

10.根据权利要求1所述的多工位双面移载装置，其特征在于，所述机械手组包括翻转机械手及平移机械手，所述翻转机械手至少用于将工件翻转一预定角度，所述平移机械手用于将工件在多个工位之间平移，所述翻转机械手包括一个翻转吸附面或相对设置的两个翻转吸附面，所述平移机械手包括一个平移吸附面，所述翻转吸附面及所述平移吸附面用于吸附工件。

11.根据权利要求1-10中任意一项所述的多工位双面移载装置，其特征在于，所述入料工位、所述第一等待工位、所述第二等待工位及所述出料工位依次呈直线分布。