[发明专利]一种显示面板、其制作方法及母板有效
申请号: | 201910555373.8 | 申请日: | 2019-06-25 |
公开(公告)号: | CN110265424B | 公开(公告)日: | 2022-06-10 |
发明(设计)人: | 付帮然;李兴亮;高英强;陈华斌;宋勇志 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/15 | 分类号: | H01L27/15;H01L21/67;H01L21/68;H01L33/00 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 李欣 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显示 面板 制作方法 母板 | ||
1.一种母板,其特征在于,包括:衬底基板,位于所述衬底基板之上的多个目标区域,以及位于所述衬底基板之上的压电薄膜和声波激励结构;其中,
所述声波激励结构位于除各所述目标区域以外的区域,并与所述压电薄膜接触,所述声波激励结构用于在驱动信号的控制下产生表面声波;
所述目标区域,包括:位于所述衬底基板上的绝缘层,以及位于所述绝缘层远离所述衬底基板一侧的多个用于容置微发光二极管的凹槽;
所述压电薄膜位于除各所述凹槽以外的区域,每一个所述凹槽内具有驱动电极和第一磁性结构;
在微发光二极管的转移过程中,将所述母板浸泡在悬浮有多个微发光二极管的悬浮液中,向所述声波激励结构施加驱动信号以产生表面声波,以使多个微发光二极管分别落入到所述目标区域中的各所述凹槽内;
所述第一磁性结构位于所述驱动电极背离衬底基板的一侧;
所述第一磁性结构在所述衬底基板上的正投影位于同一所述凹槽内的所述驱动电极在所述衬底基板上的正投影的范围内;
在所述第一磁性结构背离所述衬底基板的一侧设有接触材料,所述接触材料与所述驱动电极表面未被所述第一磁性结构覆盖的部分接触。
2.如权利要求1所述的母板,其特征在于,多个所述目标区域呈阵列排布;
所述声波激励结构,包括:沿列方向延伸且沿行方向排列的多个第一叉指电极;
在行方向相邻的两个所述第一叉指电极之间具有至少一个所述目标区域。
3.如权利要求2所述的母板,其特征在于,所述目标区域中在行方向上相邻的两个所述凹槽之间的距离L1满足以下关系:
L1=m*(a1+b1);
其中,a1为所述第一叉指电极的叉指宽度,b1为所述第一叉指电极的指间距,m为大于零的整数。
4.如权利要求1所述的母板,其特征在于,多个所述目标区域呈阵列排布;
所述声波激励结构,包括:沿列方向延伸且沿行方向排列的多个第一叉指电极,以及沿行方向延伸且沿列方向排列的多个第二叉指电极;
在行方向相邻的两个所述第一叉指电极之间具有至少一个所述目标区域,在列方向相邻的两个所述第二叉指电极之间具有至少一个所述目标区域。
5.如权利要求4所述的母板,其特征在于,所述第一叉指电极,包括:沿列方向延伸且沿列方向排列的至少两个第一子叉指电极;和/或,
所述第二叉指电极,包括:沿行方向延伸且沿行方向排列的至少两个第二子叉指电极。
6.如权利要求4所述的母板,其特征在于,所述目标区域中在行方向上相邻的两个所述凹槽之间的距离L1,以及列方向上相邻的两个所述凹槽之间的距离L2满足以下关系:
L1=m*(a1+b1);L2=n*(a2+b2);
其中,a1为所述第一叉指电极的叉指宽度,b1为所述第一叉指电极的指间距;a2为所述第二叉指电极的叉指宽度,b2为所述第二叉指电极的指间距,m和n为大于零的整数。
7.如权利要求1~6任一项所述的母板,其特征在于,还包括:位于所述凹槽内的微发光二极管;
所述微发光二极管,包括:位于同一侧的第一引出电极和与所述第一磁性结构磁性相反的第二磁性结构,以及位于另一侧的与所述第一引出电极相对设置的第二引出电极;
所述微发光二极管的所述第一引出电极与位于同一个所述凹槽内的所述驱动电极电连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的