[发明专利]工业用机器人

说明书

本发明提供一种能够减小设置面积的工业用机器人。工业用机器人(1)具备手(10)、臂(20)、臂支承部(23)以及升降机构(30)，升降机构具有：包含进给丝杠轴(32)和支柱部(33)且沿上下方向延伸的直动导向件(31)、电动机(35)、将电动机的旋转向进给丝杠轴传递的旋转传递机构(40)，旋转传递机构具有通过电动机(35)驱动而旋转的输入旋转部件(41)、安装于进给丝杠轴(32)的下端部的输出旋转部件(43)、将从输入旋转部件(41)向输出旋转部件(43)传递的旋转减速的至少一个中继旋转部件(42)，在沿上下方向观察直动导向件(31)及输出旋转部件(43)的情况下，输出旋转部件(43)设于由直动导向件(31)覆盖的导向区域(B)内。

技术领域

本发明涉及输送半导体晶片等输送对象物的工业用机器人。

背景技术

专利文献1中记载的工业用机器人是输送半导体晶片的机器人，被装入半导体制造系统中使用。在半导体制造系统中，设有将多片半导体晶片在上下方向上分开收容的盒、和对半导体晶片进行蚀刻等处理的处理装置，机器人从盒中依次取出半导体晶片，将取出的半导体晶片输送到处理装置。该机器人具备载置半导体晶片的手、使手在水平面内移动的臂、使臂支承部件升降的升降机构。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017－127956号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在使臂支承部件升降的升降机构中，例如使用滚珠丝杆机构，这种升降机构通常使用电动机、安装于电动机旋转轴的输入带轮、安装于滚珠丝杠机构的螺纹轴的输出带轮、挂设于输入带轮和输出带轮之间的带。电动机的旋转在输入带轮和输出带轮之间被适当减速，并被传递到螺纹轴。虽然也取决于电动机的转速等，但为了得到必要的减速比，有时输出带轮为较大直径。该情况下，设置机器人所需的设置面积可能增大。

本发明是鉴于上述情况而开发的，其目的在于，提供能够减小设置面积的工业用机器人。

解决技术问题所采用的技术方案

本发明提供一种工业用机器人，其具备：手，所述手保持输送对象物；臂，所述臂使所述手在水平面内移动；臂支承部，所述臂支承部能转动地支承所述臂；以及升降机构，所述升降机构使所述臂支承部升降，所述升降机构具有：直动导向件，所述直动导向件沿上下方向延伸，且包含进给丝杠轴和支承所述进给丝杠轴的支柱部；电动机；以及旋转传递机构，所述旋转传递机构向所述进给丝杠轴传递所述电动机的旋转，所述旋转传递机构具有：输入旋转部件，所述输入旋转部件通过所述电动机驱动而旋转；输出旋转部件，所述输出旋转部件安装于所述进给丝杠轴的下端部；以及至少一个中继旋转部件，所述中继旋转部件包含输入侧的大径部和输出侧的小径部，将从所述输入旋转部件向所述输出旋转部件传递的旋转减速，在沿上下方向观察所述直动导向件及所述输出旋转部件的情况下，所述输出旋转部件设于由所述直动导向件覆盖的导向区域内。

发明效果

根据本发明，能够提供能够减小设置面积的工业用机器人。

附图说明

图1是用于说明本发明实施方式的工业用机器人的一例的主视图。

图2是图1所示的工业用机器人的俯视图。

图3A是表示图1的工业用机器人的动作的一例的示意图。

图3B是表示图1的工业用机器人的动作的一例的示意图。

图3C是表示图1的工业用机器人的动作的一例的示意图。

图3D是表示图1的工业用机器人的动作的一例的示意图。

图4是图1的工业用机器人的旋转传递机构的一例的主视图。