[发明专利]一种干式双涡旋真空泵

权利要求书

1.一种干式双涡旋真空泵，其特征在于：包括驱动组件及位于驱动组件上方的上盖，所述的驱动组件包括输出轴（16），所述的输出轴（16）上偏心设置有动盘（6）；所述动盘（6）面向上盖的一侧设有两组中心对称的第一涡旋齿（24）；

所述上盖的下端设有定盘（4），所述的定盘（4）上设有与第一涡旋齿（24）一一对应的第二涡旋齿（23），所述的第一涡旋齿（24）和第二涡旋齿（23）啮合形成压缩腔；所述的上盖还设有与压缩腔对应的进气口（5）和出气口（1）；

所述的定盘（4）内设有第一冷却腔（3）；所述驱动组件的下端连接有底盖（12），所述底盖（12）内设有第二冷却腔（13）；所述的第一冷却腔（3）和第二冷却腔（13）之间通过冷却通道（27）连通并形成冷却系统；所述的冷却系统还包括进液口（29）和排液口（30）；

所述的进液口（29）-第一冷却腔（3）-冷却通道（27）-第二冷却腔（13）-排液口（30）依次连通。

2.根据权利要求1所述的干式双涡旋真空泵，其特征在于：所述第一涡旋齿（24）和第二涡旋齿（23）的齿顶分别设有密封槽（21），并在密封槽（21）内设有弹性密封材料，所述第一涡旋齿（24）与定盘（4）挤压密封，所述的第二涡旋齿（23）与动盘（6）挤压密封。

3.根据权利要求1所述的干式双涡旋真空泵，其特征在于：所述的驱动组件包括壳体（8）、上端盖（7）和下端盖（11），所述的输出轴（16）穿过上端盖（7）和下端盖（11），并与上端盖（7）和下端盖（11）分别旋转活动连接；所述的输出轴（16）与上端盖（7）和下端盖（11）之间分别设有密封组件。

4.根据权利要求1所述的干式双涡旋真空泵，其特征在于：所述的输出轴（16）上分布有若干用于平衡动盘（6）的配重块（14）。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的干式双涡旋真空泵，其特征在于：还包括至少一组设置在动盘（6）与驱动组件或定盘（4）之间的防自转组件（22）。

6.根据权利要求5所述的干式双涡旋真空泵，其特征在于：所述的防自转组件（22）包括限位轴，所述限位轴的一端与动盘（6）固定连接；所述的驱动组件或定盘（4）上设有与限位轴自由端对应，用于容纳限位轴自由端并限制限位轴自由端运动的导向槽。

7.根据权利要求5所述的干式双涡旋真空泵，其特征在于：所述的防自转组件（22）包括限位轴，所述限位轴的两端分别设有偏心设置的连接柱，其中一个连接柱与动盘（6）旋转活动连接，另一个连接柱与驱动组件或定盘（4）旋转活动连接。

8.根据权利要求1-4、6、7中任一项所述的干式双涡旋真空泵，其特征在于： 所述的第一冷却腔（3）和第二冷却腔（13）之间设有至少两组冷却通道（27），所述的冷却通道（27）紧贴驱动组件设置，并围绕驱动组件周向均布。