[发明专利]一种干式双涡旋真空泵

说明书

本发明涉及一种真空获得设备，具体公开了一种干式双涡旋真空泵。该干式双涡旋真空泵，其特征在于：包括驱动组件及位于驱动组件上方的上盖，所述的驱动组件包括输出轴，所述的输出轴上偏心设置有动盘；所述动盘面向上盖的一侧设有两组中心对称的第一涡旋齿；所述上盖的下端设有定盘，所述的定盘上设有与第一涡旋齿一一对应的第二涡旋齿，所述的第一涡旋齿和第二涡旋齿啮合形成压缩腔；所述的上盖还设有与压缩腔对应的进气口和出气口。以上所述的干式双涡旋真空泵，抽气性能、整机密封和耐热性具有显著提升，设计高度集成、高效节能、简洁紧凑。

技术领域

本发明涉及真空泵领域，尤其涉及一种干式双涡旋真空泵。

背景技术

干式无油涡旋真空泵，又称为称涡旋干泵、涡旋真空泵、涡旋泵，是一种清洁无油的真空获得设备，具有运动零部件少、密封性能良好、整体结构紧凑等优点，广泛应用于薄膜、分析测试、半导体制造及生物医疗等新兴行业的生产制造中，同时上述新型行业的生产制造业对对真空泵的结构设计和优化提出了新的要求与挑战。

为了适应上述新兴产业的生产制造要求，如何优化设计理论、提高抽气性能、改善整机可靠性，成为当前真空干泵发展迫切需要解决的问题。如何在在兼顾干式无油涡旋真空泵原有优点的前提下，提升其密封性、热平衡性能以及抽真空速率，是目前干式无油涡旋真空泵研究的主要方向。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种干式双涡旋真空泵，提升干式无油涡旋真空泵的抽气性能、整机密封和耐热性，设计高度集成、高效节能、简洁紧凑。

为了解决上述技术问题，本发明提供的技术方案如下：一种干式双涡旋真空泵，包括驱动组件及位于驱动组件上方的上盖，所述的驱动组件包括输出轴，所述的输出轴上偏心设置有动盘。所述动盘面向上盖的一侧设有两组中心对称的第一涡旋齿；所述上盖的下端设有定盘，所述的定盘上设有与第一涡旋齿一一对应的第二涡旋齿，所述的第一涡旋齿和第二涡旋齿啮合形成压缩腔；所述的上盖还设有与压缩腔对应的进气口和出气口。

进行抽真空操作时，在第一涡旋齿和第二涡旋齿的驱动下，气体从进气口进入，经由压缩腔从出气口排出。两组一一对应的第一涡旋齿和第二涡旋齿构成双涡旋结构，增大了吸气容积，提高抽真空速率，在相同抽真空速率的前提下，可以降低涡旋齿的相对滑动速度。另外，对称设置的涡旋齿使得动涡旋盘满足静平衡状态，减小旋转惯性力和气体压力，提高运转真空泵平稳性能。

作为优选，所述第一涡旋齿和第二涡旋齿的齿顶分别设有密封槽，并在密封槽内设有弹性密封材料，所述第一涡旋齿与定盘挤压密封，所述的第二涡旋齿与动盘挤压密封。

作为优选，所述的驱动组件包括壳体、上端盖和下端盖，所述的输出轴穿过上端盖和下端盖，并与上端盖和下端盖分别旋转活动连接。所述的输出轴与上端盖和下端盖之间分别设有密封组件。

作为优选，所述的输出轴上分布有若干用于平衡动盘的配重块，平衡偏心设置的动盘转动时产生的转矩，提高真空泵整体的稳定性。

作为优选，还包括至少一组设置在动盘与驱动组件或定盘之间的防自转组件。

作为优选，所述的防自转组件包括限位轴，所述限位轴的一端与动盘固定连接。所述的驱动组件或定盘上设有与限位轴自由端对应，用于容纳限位轴自由端并限制限位轴自由端运动的导向槽。

作为优选，所述的防自转组件包括限位轴，所述限位轴的两端分别设有偏心设置的连接柱，其中一个连接柱与动盘旋转活动连接，另一个连接柱与驱动组件或定盘旋转活动连接。

防自转组件用于限制动盘相对于定盘及驱动组件的运动，以确保动盘相对于定盘摆动，而无法相对于中心旋转。

作为优选，所述的定盘内设有第一冷却腔；所述驱动组件的下端连接有底盖，所述底盖内设有第二冷却腔。所述的第一冷却腔和第二冷却腔之间通过冷却通道连通并形成冷却系统。所述的冷却系统还包括进液口和排液口。