[发明专利]一种湿法光胶装置的检测方法及检测装置

权利要求书

1.一种湿法光胶检测装置的检测方法，用于检测待测物，所述待测物包括底板、功能件和位于所述底板与所述功能件之间的液层，所述底板与所述功能件在所述液层挥发后粘结在一起，其特征在于，所述检测装置包括：光源和探测器，所述光源位于所述底板的侧面或者所述底板的底面，所述底板的底面为所述底板远离所述功能件一侧的表面；所述探测器位于所述底板的底面；所述检测方法包括：

控制所述光源发出第一光束并入射到所述底板中；

控制所述探测器接收被所述待测物反射的光斑；

根据所述探测器接收到的光斑判断是否存在液层；如果所述探测器接收到的光斑数量大于两个，则确定所述待测物中存在所述液层。

2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述控制所述光源发出第一光束并入射到所述底板中，包括：

控制所述光源发出半径小于或者等于1mm的第一光束，并入射到所述底板中。

3.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述控制所述光源发出第一光束入射到所述底板中，包括：

控制所述光源发出的第一光束从所述底板的侧面以朝向所述功能件的方向入射到所述底板中。

4.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述控制所述光源发出第一光束入射到所述底板中，包括：

控制所述光源发出的第一光束从所述底板远离所述功能件一侧的底面以朝向所述功能件的方向入射到所述底板中。

5.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述探测器接收到部分交叠的两个光斑，部分交叠的两个光斑分别为第一光斑和第二光斑，所述第一光斑与所述第二光斑的半径相等；

在确定所述待测物中存在所述液层之后，所述检测方法还包括：

根据所述探测器接收到的所述第一光斑和所述第二光斑之间的间距采用公式1计算得到所述液层的厚度；公式1满足：

其中，S为所述探测器接收到的所述第一光斑和所述第二光斑之间的间距，h为所述液层的厚度，n₁为所述底板的折射率，n₂为所述液层的折射率，θ为所述光源发出的第一光束由所述底板照射到所述液层的入射角，t为所述第一光斑和所述第二光斑的放大倍数。

6.根据权利要求5所述的检测方法，其特征在于，在所述根据所述探测器接收到的所述第一光斑和所述第二光斑之间的间距采用公式1计算得到所述液层的厚度之前，还包括：

在所述第一光斑和所述第二光斑的中心连线的方向上，检测到所述第一光斑与所述第二光斑的交叠尺寸小于所述第一光斑的半径时，采用公式2计算所述第一光斑与所述第二光斑之间的间距，公式2满足：

S＝(l-2R)；

其中，l为所述第一光斑与所述第二光斑的边缘上两点之间的最远距离，R为所述第一光斑的半径；

在所述第一光斑和所述第二光斑的中心连线的方向上，检测到所述第一光斑与所述第二光斑的交叠尺寸大于或者等于所述第一光斑的半径时，采用公式3计算所述第一光斑与所述第二光斑之间的间距，公式3满足：

其中，A₁为所述第一光斑与所述第二光斑的交叠面积。

7.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述检测装置还包括位于所述底板与所述探测器之间且设置在反射路径上的扩束部件；

在所述根据所述探测器接收到的光斑判断是否存在液层之前，还包括：

控制所述扩束部件对被所述待测物反射的光斑进行扩束放大。

8.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述检测装置还包括位于所述底板与所述探测器之间且设置在反射路径上的校准部件；

在所述根据所述探测器接收到的光斑判断是否存在液层之前，所述检测方法还包括：

通过所述校准部件控制被所述待测物反射的光斑垂直地照射到所述探测器上。